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1. (WO2009028698) PROCÉDÉ D'ENTRAÎNEMENT ET SYSTÈME D'ENTRAÎNEMENT DE CORPS MOBILE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/028698    N° de la demande internationale :    PCT/JP2008/065613
Date de publication : 05.03.2009 Date de dépôt international : 25.08.2008
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), G03F 9/00 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo, 1008331 (JP) (Tous Sauf US).
SHIBAZAKI, Yuichi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : SHIBAZAKI, Yuichi; (JP)
Mandataire : TATEISHI, Atsuji; TATEISHI & CO., Karakida Center Bldg., 1-53-9, Karakida, Tama-shi, Tokyo 2060035 (JP)
Données relatives à la priorité :
60/935,665 24.08.2007 US
12/196,178 21.08.2008 US
Titre (EN) DRIVE METHOD AND DRIVE SYSTEM FOR MOVABLY BODY
(FR) PROCÉDÉ D'ENTRAÎNEMENT ET SYSTÈME D'ENTRAÎNEMENT DE CORPS MOBILE
Abrégé : front page image
(EN)A position of a stage (WST) in a perpendicular (Z) direction with respect to a movement plane and a tilt (ϑy) direction is measured, using a surface position sensor (72k, 74i, 76j) and a Z interferometer (43A, 43B). And, the stage is driven in a stable manner and also with high precision, by appropriately switching between three control modes; servo control using a measurement result of the surface position sensor (a first control mode), servo control using a measurement result of the Z interferometer (a second control mode), and servo control using measurement results of both measurement systems (a third control mode), or by appropriately switching between two control modes out of the three control modes.
(FR)Une position d'un étage (WST) dans une direction perpendiculaire (Z) par rapport à un plan de mouvement et une direction d'inclinaison (ϑy) est mesurée au moyen d'un capteur de position de surface (72k, 74i, 76j) et d'un interféromètre Z (43A, 43B). En outre, l'étage est entraîné d'une manière stable et également avec haute précision, en commutant de manière appropriée entre trois modes de commande : servocommande utilisant un résultat de mesure du capteur de position de surface (premier mode de commande), servocommande utilisant un résultat de mesure de l'interféromètre Z (deuxième mode de commande) et servocommande utilisant les résultats de mesure des deux systèmes de mesure (troisième mode de commande) ; ou en commutant de manière appropriée entre deux modes de commande parmi les trois modes de commande.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)