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1. (WO2009028693) PROCÉDÉ ET SYSTÈME D'ENTRAÎNEMENT D'UN CORPS MOBILE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/028693    N° de la demande internationale :    PCT/JP2008/065606
Date de publication : 05.03.2009 Date de dépôt international : 25.08.2008
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), G03F 9/00 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo, 1008331 (JP) (Tous Sauf US).
SHIBAZAKI, Yuichi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KANAYA, Yuho [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : SHIBAZAKI, Yuichi; (JP).
KANAYA, Yuho; (JP)
Mandataire : TATEISHI, Atsuji; TATEISHI & CO., Karakida Center Bldg., 1-53-9, Karakida, Tama-shi, Tokyo, 2060035 (JP)
Données relatives à la priorité :
60/935,671 24.08.2007 US
12/195,960 21.08.2008 US
Titre (EN) METHOD AND SYSTEM FOR DRIVING A MOVABLE BODY
(FR) PROCÉDÉ ET SYSTÈME D'ENTRAÎNEMENT D'UN CORPS MOBILE
Abrégé : front page image
(EN)A controller uses two Z heads (ZsR, ZsL), which are positioned above a reflection surface (39Y1, 39Y2) installed on the +X end and the -X end of the upper surface of a wafer table (WTB), to measure the height and tilt of the wafer table. The Z heads to be used is switched from ZsR and ZsL to ZsR' and ZsL (or ZsR and ZsL') according to XY positions of the wafer table. On the switching of the heads, the controller applies a coordinate linkage method to set an initial value of the Z head which is to be newly used. Accordingly, although the Z head to be used is sequentially switched according the XY position of the wafer table, measurement results of the height and the tilt of the wafer table are stored before and after the switching, and it becomes possible to drive the wafer table with high precision.
(FR)Un contrôleur utilise deux têtes Z (ZsR, ZsL), qui sont positionnées au-dessus d'une surface de réflexion (39Y1, 39Y2) installée sur l'extrémité +X et l'extrémité -X de la surface supérieure d'une table porte-plaquette (WTB), afin de mesurer la hauteur et l'inclinaison de la table porte-plaquette. Les têtes Z devant être utilisées sont commutées de ZsR et ZsL à ZsR' et ZsL (ou ZsR et ZsL') en fonction des positions XY de la table porte-plaquette. Lors de la commutation des têtes, le contrôleur applique un procédé de liaison de coordonnées pour définir une valeur initiale de la tête Z qui doit être nouvellement utilisée. En conséquence, bien que la tête Z devant être utilisée soit commutée séquentiellement en fonction de la position XY de la table porte-plaquette, les résultats de mesure de la hauteur et de l'inclinaison de la table porte-plaquette sont mémorisés avant et après la commutation et il devient possible d'entraîner la table porte-plaquette avec une haute précision.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)