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1. (WO2009028450) SYSTÈME DE POMPE CRYOGÉNIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/028450    N° de la demande internationale :    PCT/JP2008/065093
Date de publication : 05.03.2009 Date de dépôt international : 25.08.2008
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    26.06.2009    
CIB :
F04B 49/06 (2006.01), F04B 37/08 (2006.01), F04B 37/16 (2006.01)
Déposants : CANON ANELVA TECHNIX CORPORATION [JP/JP]; 2-5-1 Kurigi, Asao-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2158550 (JP) (Tous Sauf US).
OKADA, Takahiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
ARAI, Tokumitsu [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
AOKI, Kazutoshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : OKADA, Takahiro; (JP).
ARAI, Tokumitsu; (JP).
AOKI, Kazutoshi; (JP)
Mandataire : OHTSUKA, Yasunori; 7th FL., KIOICHO PARK BLDG. 3-6, KIOICHO, CHIYODA-KU, Tokyo 1020094 (JP)
Données relatives à la priorité :
2007-220881 28.08.2007 JP
Titre (EN) CRYOPUMP SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE POMPE CRYOGÉNIQUE
(JA) クライオポンプシステム
Abrégé : front page image
(EN)Provided is a cryopump system which can reduce the entire system cost and the least power consumption. The system includes: a plurality of cryo pumps (7a to 7e) each having a freezer; and a plurality of compressors for supplying a gas to each freezer. A compressor includes a pressure difference adjusting type compressor (1a) as a master compressor and normal compressors (6a to 6c) as sub compressors. The system includes a controller (8) which drives and controls the pressure difference adjusting type compressor (1a) and drives and controls the normal compressors (6a to 6c) according to the drive frequency of the pressure difference adjusting type compressor (1a).
(FR)L'invention porte sur système de pompe cryogénique qui peut réduire le coût du système entier et minimiser la consommation de puissance. Le système comprend : une pluralité de pompes cryogéniques (7a à 7e) comportant chacune un générateur de froid ; et une pluralité de compresseurs destinés à alimenter chaque générateur de froid en gaz. Un compresseur comprend un compresseur de type à réglage de différence de pression (1a) en tant que compresseur maître et des compresseurs normaux (6a à 6c) en tant que compresseurs secondaires. Le système comprend un dispositif de commande (8) qui entraîne et commande le compresseur de type à réglage de différence de pression (1a) et qui entraîne et commande les compresseurs normaux (6a à 6c) en fonction de la fréquence d'entraînement du compresseur de type à réglage de différence de pression (1a).
(JA) 本発明は、システム全体のコスト及び最低消費電力が低減されたクライオポンプシステムを提供する。冷凍機をそれぞれ搭載した複数台のクライオポンプ(7a~7e)と、各冷凍機にガスを供給する複数台のコンプレッサとを有する。コンプレッサは、マスターコンプレッサである差圧調整型コンプレッサ(1a)と、サブコンプレッサである通常型コンプレッサ(6a~6c)とを含む。差圧調整型コンプレッサ(1a)の駆動制御、及び差圧調整型コンプレッサ1aの駆動周波数に基づいて通常型コンプレッサ(6a~6c)を駆動制御する制御器(8)を有する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)