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1. (WO2009028332) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE D'ABERRATION DE FRONT D'ONDE ET PROCÉDÉ DE RÉGLAGE D'ABERRATION DE FRONT D'ONDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2009/028332    N° de la demande internationale :    PCT/JP2008/064523
Date de publication : 05.03.2009 Date de dépôt international : 13.08.2008
CIB :
G01M 11/02 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (Tous Sauf US).
NEGISHI, Taketoshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : NEGISHI, Taketoshi; (JP)
Mandataire : KAWAKITA, Kijuro; YKB Mike Garden 5-4, Shinjuku 1-chome Shinjuku-ku, Tokyo 1600022 (JP)
Données relatives à la priorité :
2007-219215 27.08.2007 JP
Titre (EN) WAVEFRONT ABERRATION MEASURING DEVICE AND METHOD AND WAVEFRONT ABERRATION ADJUSTING METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MESURE D'ABERRATION DE FRONT D'ONDE ET PROCÉDÉ DE RÉGLAGE D'ABERRATION DE FRONT D'ONDE
(JA) 波面収差計測装置および方法、並びに波面収差調整方法
Abrégé : front page image
(EN)A wavefront aberration measuring device for measuring the wavefront aberration of an optical system under test (20) comprises a point source (3a: 1-3) for supplying measurement light, a photodetector (7) having a detector plane disposed at a position optically conjugate to the point source, a wavefront change giving unit (5) disposed in an optical path between the point source and the photodetector for giving a change in wavefront to light which has passed the optical system under test, and a measuring unit (6) for measuring the wavefront aberration of the optical system under test on the basis of the output of the photodetector and the change in wavefront given by the wavefront change giving unit. The wavefront aberration of the optical system can be measured by a relatively simple constitution without using an interferometry.
(FR)L'invention concerne un dispositif de mesure d'aberration de front d'onde destiné à mesurer l'aberration de front d'onde d'un système optique testé (20). Ce dispositif comprend une source ponctuelle (3a : 1-3) destinée à fournir une lumière de mesure, un photodétecteur (7) qui possède un plan de détection disposé à un emplacement optiquement conjugué par rapport à la source ponctuelle, une unité d'attribution de changement de front d'onde (5) disposée sur un trajet optique entre la source ponctuelle et le photodétecteur afin d'attribuer un changement de front d'onde à la lumière qui est passée dans le système optique testé, et une unité de mesure (6) destinée à mesurer l'aberration de front d'onde du système optique testé sur la base de la sortie du photodétecteur et du changement de front d'onde attribué par l'unité d'attribution de changement de front d'onde. L'aberration de front d'onde du système optique peut être mesurée par une constitution relativement simple sans utiliser d'interférométrie.
(JA) 被検光学系(20)の波面収差を計測する波面収差計測装置は、計測光を供給する点光源(3a:1~3)と、点光源と光学的に共役な位置に配置された検出面を有する光検出器(7)と、点光源と光検出器との間の光路中に配置されて被検光学系を経た光に波面の変化を付与する波面変化付与部(5)と、光検出器の出力と波面変化付与部において付与される波面の変化とに基づいて、被検光学系の波面収差を計測する計測部(6)とを備える。干渉法を用いることなく、比較的簡素な構成にしたがって被検光学系の波面収差を計測することができる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)