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1. (WO2008130044) SYSTÈME OPTIQUE DE PROJECTION, APPAREIL D'EXPOSITION, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/130044    N° de la demande internationale :    PCT/JP2008/057785
Date de publication : 30.10.2008 Date de dépôt international : 16.04.2008
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo, 1008331 (JP) (Tous Sauf US).
OMURA, Yasuhiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : OMURA, Yasuhiro; (JP)
Mandataire : HASEGAWA, Yoshiki; SOEI PATENT AND LAW FIRM, Ginza First Bldg., 10-6 Ginza 1-chome, Chuo-ku, Tokyo, 1040061 (JP)
Données relatives à la priorité :
60/907,828 18.04.2007 US
12/050,903 18.03.2008 US
Titre (EN) PROJECTION OPTICAL SYSTEM, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) SYSTÈME OPTIQUE DE PROJECTION, APPAREIL D'EXPOSITION, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
Abrégé : front page image
(EN)A projection optical system for forming an image of a first surface (Ma) on a third surface (W) has a first imaging optical system (G1), a third imaging optical system (G3), and a first folding member (M1) for guiding light from the first imaging optical system to the third imaging optical system. Every optical element having a power in the third imaging optical system is a refractive element.
(FR)L'invention concerne un système optique de projection destiné à former une image d'une première surface (Ma) sur une troisième surface (W), possédant un premier système optique d'imagerie (G1), un troisième système optique d'imagerie (G3), et un premier élément de pliage (M1) destiné à guider la lumière du premier système optique d'imagerie vers le troisième. Chaque élément optique qui possède une puissance dans le troisième système optique d'imagerie est un élément de réfraction.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)