WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2008129613) DISPOSITIF DE CONTRÔLE DE MATRICE DE TRANSISTORS EN COUCHES MINCES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/129613    N° de la demande internationale :    PCT/JP2007/057807
Date de publication : 30.10.2008 Date de dépôt international : 09.04.2007
CIB :
G01R 31/00 (2006.01)
Déposants : SHIMADZU CORPORATION [JP/JP]; 1, Nishinokyo-Kuwabaracho, Nakagyo-ku, Kyoto-shi Kyoto 6048511 (JP) (Tous Sauf US).
OKAMOTO, Hideki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : OKAMOTO, Hideki; (JP)
Mandataire : SHIONOIRI, Akio; Fujisawa-Central Bldg. 6F 1-4, Kugenuma-Tachibana 1-chome Fujisawa-shi, Kanagawa 2510024 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) TFT ARRAY INSPECTION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE CONTRÔLE DE MATRICE DE TRANSISTORS EN COUCHES MINCES
(JA) TFTアレイ検査装置
Abrégé : front page image
(EN)A TFT array inspection device comprises a stage (2) for a glass substrate, a stage drive mechanism, and an electronic gun unit (3) provided above a main chamber (1). The stage (2) for a glass substrate is disposed in the main chamber (1) and at least the drive motor (7a) of a Z-stage drive mechanism (7) provided in the stage drive mechanism is disposed outside the main chamber (1), whereby the main chamber can be small-sized. The Z-stage drive mechanism is driven by the Z-axis drive motor (7a) disposed outside the main chamber (1), and moves a Z-stage (2d) disposed in the main chamber (1) in the Z-direction. Since the drive motor is disposed outside the main chamber, a drive motor with a large output torque can be used to increase the drive speed of the Z-stage, thereby enhancing a throughput for inspection of a glass substrate.
(FR)Dispositif de contrôle de matrice de transistors en couches minces, comprenant un étage (2) pour un substrat de verre, un mécanisme d'entraînement de l'étage, et une unité de canon à électrons (3) prévue au-dessus d'une chambre principale (1). L'étage (2) pour le substrat de verre est disposé dans la chambre principale (1) et au moins le moteur d'entraînement (7a) d'un mécanisme d'entraînement d'étage Z (7) prévu dans le mécanisme d'entraînement d'étage est disposé à l'extérieur de la chambre principale (1), moyennant quoi la chambre principale peut être de faible dimension. Le mécanisme d'entraînement d'étage Z est actionné par le moteur d'entraînement d'axe Z (7a) disposé à l'extérieur de la chambre principale (1), et déplace un étage Z (2d) disposé dans la chambre principale (1) dans la direction Z. Le moteur d'entraînement étant disposé à l'extérieur de la chambre principale, on peut utiliser un moteur d'entraînement ayant un couple de sortie élevé pour augmenter la vitesse d'entraînement de l'étage Z, ce qui permet d'améliorer la vitesse de contrôle d'un substrat de verre.
(JA)TFTアレイ検査装置は、ガラス基板用ステージ2とステージ駆動機構と、メインチャンバ1の上方に設けた電子銃ユニット3を備える。ガラス基板検査用ステージ2はメインチャンバ1内に設け、ステージ駆動機構が備えるZステージ駆動機構7の少なくとも駆動モータ7aをメインチャンバ1外に設け、メインチャンバを小型化する。Zステージ駆動機構は、メインチャンバ1の外部に設けられたZ軸駆動用モータ7aによって駆動され、メインチャンバ1内に設けられたZステージ2dをZ方向に移動する。駆動モータをメインチャンバの外部に設けることによって、大きな出力トルクを有する駆動モータの使用を可能として、Zステージの駆動速度を高め、ガラス基板の検査のスループットを高める。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)