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1. (WO2008129603) SYSTÈME DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/129603    N° de la demande internationale :    PCT/JP2007/057681
Date de publication : 30.10.2008 Date de dépôt international : 05.04.2007
CIB :
B65G 49/06 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Déposants : HIRATA CORPORATION [JP/JP]; 9-20, Togoshi 3-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1420041 (JP) (Tous Sauf US).
AKIZUKI, Sunao [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : AKIZUKI, Sunao; (JP)
Mandataire : OHTSUKA, Yasunori; 7th FL., SHUWA KIOICHO PARK BLDG. 3-6, KIOICHO, CHIYODA-KU, Tokyo 1020094 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) SUBSTRATE CONVEYANCE SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
(JA) 基板搬送システム
Abrégé : front page image
(EN)In a substrate conveyance system (100) having guide rails (R) extending along a fixed path and a moving unit (10) lying for reciprocating movement along the guide rails (R) to transfer substrates from a loading site (210) to an unloading site (220) all of which are arranged along the guide rails (R) as with other multiple sites, platforms (20) are each assigned every loading station (211, 212, 213) to carry thereon the substrates delivered from the loading site (210) and an elevator unit (30) is mounted on the moving unit (10) to move vertically the substrates carried on the platforms (20). The platforms (20) each have a carrier unit (21) to carry thereon the substrates delivered out of the loading site (210), and support members (22) to keep the associated carrier unit (21) at a level higher than moving unit (10) just above the guide rails (R). The carrier unit (21) further provides a space (S) in which the elevator unit (30) is permitted to pass through there at the time the moving unit (10) moves past as well as the elevator unit (30) makes vertical displacement.
(FR)Dans un système de transport de substrat (100) possédant des rails de guidage (R) s'étendant le long d'un trajet fixe et une unité mobile (10) placée pour un mouvement de va-et-vient le long des rails de guidage (R), lequel permet de transférer des substrats d'un site de chargement (210) à un site de déchargement (220), la totalité desquels étant disposés le long des rails de guidage (R), des plates-formes (20) sont attribuées chacune à chaque poste de chargement (211, 212, 213) pour porter les substrats amenés à partir du site de chargement (210) et une unité élévatrice (30) est montée sur l'unité mobile (10) pour déplacer verticalement les substrats portés sur les plates-formes (20). Les plates-formes (20) possèdent chacune une unité de support (21) pour porter les substrats amenés à partir du site de chargement (210), et des éléments de support (22) pour conserver l'unité de support associée (21) à un niveau plus élevé que l'unité mobile (10) juste au-dessus des rails de guidage (R). L'unité de support (21) présente en outre un espace (S) dans lequel l'unité élévatrice (30) peut passer au moment où l'unité mobile (10) se déplace ainsi qu'au moment où l'unité élévatrice (30) réalise un déplacement vertical.
(JA) 予め定めた軌道(R)上を往復移動する移動ユニット(10)を備え、軌道(R)に沿って配置された複数の装置のうち、基板の搬出元となる装置(210)から搬出先となる装置(220)へ基板を搬送する基板搬送システム(100)において、基板の搬出元となる各々の装置(211、212、213)毎に配置され、基板の搬出元となる装置(210)から搬出される基板が載置される載置台20と、移動ユニット(10)に設けられ、載置台(20)に載置された基板を昇降する昇降ユニット(30)と、を備え、載置台(20)は、基板の搬出元となる装置(210)から搬出される基板が載置される載置ユニット21と、載置ユニット(21)を、軌道(R)上であって移動ユニット(10)よりも上方において支持する支持部材(22)と、を備え、載置ユニット(21)は、移動ユニット10の移動及び昇降ユニット(30)の昇降の際、昇降ユニット(30)が通過する通過スペース(S)を有することを特徴とする。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)