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1. (WO2008128535) ENSEMBLE PERMETTANT DE RÉALISER DES REVÊTEMENTS SUR DES SUBSTRATS SOUS VIDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/128535    N° de la demande internationale :    PCT/DE2008/000727
Date de publication : 30.10.2008 Date de dépôt international : 21.04.2008
CIB :
C23C 14/28 (2006.01), H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Hansastrasse 27c, 80686 München (DE) (Tous Sauf US).
MEYER, Carl-Friedrich [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : MEYER, Carl-Friedrich; (DE)
Mandataire : PFENNING, MEINIG & PARTNER GBR; An der Frauenkirche 20, 01067 Dresden (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2007 019 982.3 23.04.2007 DE
Titre (DE) ANORDNUNG ZUR AUSBILDUNG VON BESCHICHTUNGEN AUF SUBSTRATEN IM VAKUUM
(EN) ARRANGEMENT FOR PRODUCING COATINGS ON SUBSTRATES IN VACUO
(FR) ENSEMBLE PERMETTANT DE RÉALISER DES REVÊTEMENTS SUR DES SUBSTRATS SOUS VIDE
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Ausbildung von Beschichtungen auf Substraten im Vakuum, bei der ein Plasma mittels elektrischer Bogenentladung an mindestens einem als Kathode geschalteten Target (6) gebildet und die Bogenentladung zwischen einer Anode (7) und dem Target (6) mittels eines auslenkbaren fokussierten Laserstrahls (5), der auf die Oberfläche des Targets durch ein Fenster gerichtet ist, gezündet wird. Aufgabe der Erfindung ist es eine technische Lösung vorzugeben, mit der eine unerwünschte Beschichtung im Fensterbereich einer Vakuumkammer deutlich reduziert werden kann. Erfindungemäß ist hierfür zwischen Fenster und mindestens einem Target ein Permanent- oder Elektromagnet (3,3') seitlich neben, ober- oder unterhalb der optischen Achse des Laserstrahls (5) angeordnet und der Laserstrahl (5) durch ein vom Permanent- oder Elektromagnet (3,3') ausgebildetes Magnetfeld geführt.
(EN)The invention relates to an arrangement for producing coatings on substrates in vacuo. A plasma is produced by electric arc discharge on a target that is connected as the cathode and the arc discharge between an anode and the target is ignited by means of a mobile focused laser beam that is directed through a window onto the surface of the target. The aim of the invention is to provide a technical solution that allows an undesired coating in the window zone of a vacuum chamber to be considerably reduced. To achieve this aim, a permanent magnet or electromagnet is arranged between the window and at least one target laterally next to, above or below the optical axis of the laser beam and the laser beam is guided through a magnetic filed produced by the permanent magnet or electromagnet.
(FR)L'invention concerne un ensemble permettant de réaliser des revêtements sur des substrats sous vide, un plasma étant formé au moyen d'une décharge en arc électrique sur au moins une cible, utilisée comme cathode, et la décharge en arc entre une anode et la cible étant amorcée au moyen d'un faisceau laser focalisé pouvant être dévié, lequel faisceau est dirigé sur la surface de la cible à travers une fenêtre. L'objectif de l'invention est de fournir une solution technique permettant de réduire nettement un revêtement non souhaité dans la zone de fenêtre d'une chambre à vide. Selon l'invention, un aimant permanent ou électroaimant est, à cet effet, placé entre la fenêtre et au moins une cible, à côté, en dessus ou en dessous de l'axe optique du faisceau laser et le faisceau laser est dirigé à travers un champ magnétique formé par l'aimant permanent ou électroaimant.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)