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1. (WO2008127599) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF POUR STABILISER ET SYNTONISER LA BANDE PASSANTE DE LUMIÈRE LASER
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/127599    N° de la demande internationale :    PCT/US2008/004598
Date de publication : 23.10.2008 Date de dépôt international : 09.04.2008
CIB :
H01S 3/22 (2006.01)
Déposants : CYMER, INC. (A NEVADA CORPORATION) [US/US]; 17075 Thornmint Court, San Diego, CA 92127-2413 (US) (Tous Sauf US).
PARTLO, William, N. [US/US]; (US) (US Seulement).
JACQUES, Robert, N. [US/US]; (US) (US Seulement).
O'BRIEN, Kevin, M. [US/US]; (US) (US Seulement).
ISHIHARA, Toshihiko [JP/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : PARTLO, William, N.; (US).
JACQUES, Robert, N.; (US).
O'BRIEN, Kevin, M.; (US).
ISHIHARA, Toshihiko; (US)
Mandataire : CRAY, William, C.; Cymer, Inc., Legal Dept., MS/4-2D, 17075 Thornmint Court, San Diego, CA 92127-2413 (US)
Données relatives à la priorité :
60/923,486 13.04.2007 US
12/082,254 09.04.2008 US (IA Considered Withdrawn 02.06.2008)
12/082,301 09.04.2008 US (IA Considered Withdrawn 02.06.2008)
12/082,253 09.04.2008 US (IA Considered Withdrawn 02.06.2008)
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR STABILIZING AND TUNING THE BANDWIDTH OF LASER LIGHT
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF POUR STABILISER ET SYNTONISER LA BANDE PASSANTE DE LUMIÈRE LASER
Abrégé : front page image
(EN)According to aspects of an embodiment of the disclosed subject matter, method and apparatus are disclose that ma y comprise adjusting a differential timing between gas discharges in the seed laser and amplifier laser for bandwidth control, based on the error signal, or for control of another laser operating parameter other than bandwidth, without utilizing any beam magnification control, or adjusting a differential timing between gas discharges in the seed laser and amplifier laser for bandwidth control, based on the error signal, or for control of another laser operating parameter other than bandwidth, while utilizing beam magnification control for other than bandwidth control, and adjusting a differential timing between gas discharges in the seed laser and amplifier laser for bandwidth control, based on the error signal, or for control of another laser operating parameter other than bandwidth, while utilizing beam magnification control for bandwidth control based on the error signal.
(FR)Selon des aspects d'un mode et d'une forme de réalisation de l'invention, le procédé et le dispositif décrits comprennent le réglage d'une synchronisation différentielle entre des décharges de gaz dans un laser d'injection et un laser d'amplification à des fins de commande de la bande passante, sur la base d'un signal d'erreur ou pour commander un paramètre de fonctionnement du laser autre que la bande passante, sans utiliser de commande d'agrandissement du faisceau; ou le réglage d'une synchronisation différentielle entre des décharges de gaz dans le laser d'injection et le laser d'amplification à des fins de commande de la bande passante, sur la base du signal d'erreur ou pour commander un paramètre de fonctionnement du laser autre que la bande passante, en utilisant une commande d'agrandissement du faisceau pour commander une valeur autre que la bande passante; et le réglage d'une synchronisation différentielle entre des décharges de gaz dans le laser d'injection et le laser d'amplification à des fins de commande de la bande passante, sur la base du signal d'erreur ou pour commander un paramètre de fonctionnement du laser autre que la bande passante, en utilisant une commande d'agrandissement du faisceau pour commander la bande passante sur la base du signal d'erreur.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)