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1. (WO2008125327) PROCÉDÉ ET SYSTÈME DE POSITIONNEMENT REPRODUCTIBLE D'UN OBJET CIBLE DANS LE VOLUME D'ACTION D'UN FAISCEAU LASER
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/125327    N° de la demande internationale :    PCT/EP2008/002956
Date de publication : 23.10.2008 Date de dépôt international : 14.04.2008
CIB :
B23K 26/04 (2006.01), H01S 3/00 (2006.01), G02B 27/20 (2006.01), H01L 21/268 (2006.01)
Déposants : HEINRICH-HEINE-UNIVERSITÄT DÜSSELDORF [DE/DE]; Universitätsstrasse 1, 40225 Düsseldorf (DE) (Tous Sauf US).
JUNG, Ralph [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : JUNG, Ralph; (DE)
Mandataire : COHAUSZ DAWIDOWICZ HANNIG & SOZIEN; Schumannstrasse 97-99, 40237 Düsseldorf (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2007 018 140.1 16.04.2007 DE
Titre (DE) VERFAHREN UND SYSTEM ZUR REPRODUZIERBAREN POSITIONIERUNG EINES ZIELOBJEKTES IN DAS WIRKVOLUMEN EINER LASERSTRAHLUNG
(EN) METHOD AND SYSTEM FOR THE REPRODUCIBLE POSITIONING OF A TARGET OBJECT IN THE EFFECTIVE VOLUME OF A LASER BEAM
(FR) PROCÉDÉ ET SYSTÈME DE POSITIONNEMENT REPRODUCTIBLE D'UN OBJET CIBLE DANS LE VOLUME D'ACTION D'UN FAISCEAU LASER
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren und ein System zur reproduzierbaren Positionierung eines Zielobjekts in das Wirkvolumen einer ersten, insbesondere gepulsten Laserstrahlung, die nach einer Umlenkoptik (1), die hoch reflektierend ist für die Wellenlänge der ersten Laserstrahlung (I) und durchlässig für wenigstens eine zweite Wellenlänge, insbesondere zweite Laserstrahlung (II), mittels einer Fokussieroptik (2) in das Wirkvolumen fokussierbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass an die gewünschte Position (P) eines zu positionierenden Zielobjektes (4) im Wirkvolumen (3) das Abbild eines Maskenelementes (5) durch die Umlenkoptik (1) hindurch mit einer zweiten insbesondere Laser-Strahlung projiziert wird und der Grad der Defokussierung des Abbildes auf dem zu positionierenden Zielobjekt (4) bestimmt, insbesondere minimiert wird.
(EN)The invention relates to a method and a system for the reproducible positioning of a target object in the effective volume of a first, particularly pulsed laser beam, which can be focused into the effective volume by means of a focusing lens system (2) following a deflecting lens system (1), which is highly reflective for the wavelength of the first laser beam (I) and is permeable for at least one second wavelength, particularly a second laser beam (II), characterized in that the image of a mask element (5) is projected at the desired position (P) of a target object (4) to be positioned in the effective volume (3) through the deflecting lens system (1) using a second, particularly laser, beam, and the degree of defocusing of the image is determined, particularly minimized, on the target object (4) to be positioned.
(FR)L'invention concerne un procédé et un système de positionnement reproductible d'un objet cible dans le volume d'action d'un premier faisceau laser, en particulier un faisceau laser à impulsions, qui après un système optique déflecteur (1), lequel est hautement réfléchissant pour les longueurs d'onde du premier faisceau laser (I) et laisse passer au moins une seconde longueur d'onde, en particulier un second faisceau laser (II), peut être mis au point à l'aide d'un système optique de focalisation (2) dans le volume d'action, caractérisé en ce que à la position souhaitée (P), la reproduction d'un élément de masque (5) d'un objet cible (4) à positionner dans le volume d'action est projetée par le système optique déflecteur (1) à l'aide d'un second faisceau laser et le degré de la défocalisation de la reproduction de l'objet cible (4) à positionner est déterminé, en particulier minimisé.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)