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1. (WO2008123987) ARBRES COAXIAUX PERMETTANT LE POSITIONNEMENT RADIAL D'UN MAGNÉTRON ROTATIF
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/123987    N° de la demande internationale :    PCT/US2008/004262
Date de publication : 16.10.2008 Date de dépôt international : 02.04.2008
CIB :
H01J 7/24 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue, Santa Clara, CA 95054 (US) (Tous Sauf US).
MILLER, Keith, A. [US/US]; (US) (US Seulement).
FLANIGAN, Michael, Allen [US/US]; (US) (US Seulement).
PONNEKANTI, Hari [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : MILLER, Keith, A.; (US).
FLANIGAN, Michael, Allen; (US).
PONNEKANTI, Hari; (US)
Mandataire : GUENZER, Charles, S.; Law Office Of Charles Guenzer, 2211 Park Boulevard, P.O. Box 60729, Palo Alto, CA 94306 (US)
Données relatives à la priorité :
60/910,537 06.04.2007 US
11/924,573 25.10.2007 US
Titre (EN) COAXIAL SHAFTS FOR RADIAL POSITIONING OF ROTATING MAGNETRON
(FR) ARBRES COAXIAUX PERMETTANT LE POSITIONNEMENT RADIAL D'UN MAGNÉTRON ROTATIF
Abrégé : front page image
(EN)A magnetron actuator (140) for moving a magnetron (42) in a nearly arbitrary radial and azimuthal path in the back of a target (18) in a plasma sputter chamber (10). The magnetron actuator includes two coaxial rotary shafts (28, 30) extending along the chamber central axis (14) and coupled to two independently controllable rotary actuators (178, 18). An epicyclic gear mechanism (40) or a frog-leg structure (210) mechanically couple the shafts to the magnetron to control its radial and azimuthal position. A vertical actuator (144) moves the shafts vertically in tandem to vary the magnetron's separation from the target's back surface and compensate for erosion of the front surface. The rotary actuators may be separately coupled to the shafts or a rotatable ring gear may be coupled to the shafts through respectively fixed and orbiting idler gears. Two radially spaced sensors (234, 236) detect reflectors (230, 232) attached to the inner and outer arms (116, 122) of the epicyclic gear mechanism for homing of the controller (238).
(FR)La présente invention concerne un actionneur de magnétron (140) permettant le déplacement d'un magnétron (42) selon un trajet radial et azimutal quasiment arbitraire dans la partie arrière d'une cible (18) dans une enceinte de pulvérisation assistée par plasma (10). L'actionneur de magnétron comporte deux arbres rotatifs coaxiaux (28, 30) s'étendant selon l'axe central de l'enceinte (14) et couplé à deux actionneurs rotatifs à commande indépendante (178, 18). Un mécanisme épicycloïdal (40) ou une structure en pattes de grenouille (210) assure le couplage mécanique des arbres au magnétron pour contrôler sa position radiale et azimutale. Un actionneur vertical (144) déplace les arbres verticalement en tandem pour varier la séparation du magnétron de la partie arrière de la cible et compenser l'érosion de la surface avant. Les actionneurs rotatifs peuvent être couplés séparément aux arbres ou une couronne rotative peut être couplée aux arbres via des engrenages fixe ou libre respectivement. Deux capteurs espacés radialement (234. 236) détectent des réflecteurs (230, 232) fixés aux bras intérieur et extérieur (116, 122) du mécanisme épicycloïdal pour autoguider le contrôleur (238).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)