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1. (WO2008123550) APPAREIL DE TRAITEMENT DE FAISCEAU ET APPAREIL DE SURVEILLANCE DE FAISCEAU
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/123550    N° de la demande internationale :    PCT/JP2008/056598
Date de publication : 16.10.2008 Date de dépôt international : 02.04.2008
CIB :
H01J 37/30 (2006.01), H01J 37/16 (2006.01), H01J 37/20 (2006.01), H01J 37/317 (2006.01)
Déposants : HIRAIDE PRECISION CO., LTD. [JP/JP]; 1680-1, Okaya-shi, Nagano 3940001 (JP) (Tous Sauf US).
TOYO UNIVERSITY [JP/JP]; 5-28-20, Hakusan, Bunkyo-ku, Tokyo 1128606 (JP) (Tous Sauf US).
NAGANO PREFECTURE [JP/JP]; 692-2, Aza Habashita, Oaza Minaminagano, Nagano-shi, Nagano 3808570 (JP) (Tous Sauf US).
MASUZAWA, Tsuneaki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
TANAKA, Fumitoshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
YAMAZAKI, Tomohiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
YOSHIDA, Yoshikazu [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
IKEDA, Hiromichi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
OGUCHI, Keigo [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
YAMAGISHI, Hikaru [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
WAKABAYASHI, Yuji [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KOBAYASHI, Kouji [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : MASUZAWA, Tsuneaki; (JP).
TANAKA, Fumitoshi; (JP).
YAMAZAKI, Tomohiro; (JP).
YOSHIDA, Yoshikazu; (JP).
IKEDA, Hiromichi; (JP).
OGUCHI, Keigo; (JP).
YAMAGISHI, Hikaru; (JP).
WAKABAYASHI, Yuji; (JP).
KOBAYASHI, Kouji; (JP)
Mandataire : IAT WORLD PATENT LAW FIRM; 5th Floor, INT's Nakano Bldg. 33-3, Nakano 3-chome Nakano-ku, Tokyo 164-0001 (JP)
Données relatives à la priorité :
2007-096994 03.04.2007 JP
Titre (EN) BEAM PROCESSING APPARATUS AND BEAM MONITORING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT DE FAISCEAU ET APPAREIL DE SURVEILLANCE DE FAISCEAU
(JA) ビーム加工装置およびビーム観察装置
Abrégé : front page image
(EN)Provided is a beam processing apparatus or a beam monitoring apparatus which has reduced sizes and reduced cost. The beam processing apparatus or the beam monitoring apparatus is provided with a beam outputting source; a beam passing member (25), which has an outputting section (25a) for outputting a beam toward a work (2) and permits the beam traveling toward the work (2) from the beam outputting source to pass through; a fixed member (6), which has a fixing surface (6a) for fixing the work (2) and moves in a prescribed direction; and a hollow member (23), which is formed hollow to be deformed in three-dimensional directions and has the beam passing member (25) inside. The hollow member (23) is composed of at least a first hollow member (26) and a second hollow member (27) connected to each other. At one end of the hollow member (23), an opening section (37) is formed, the one end of the hollow member (23) abuts to the fixing surface, and inside the hollow member (23) is in a vacuum state.
(FR)La présente invention concerne un appareil de traitement de faisceau ou un appareil de surveillance de faisceau qui présente des dimensions et un coût réduits. L'appareil de traitement de faisceau ou l'appareil de surveillance de faisceau est équipé d'une source d'émission de faisceau ; d'un élément de passage de faisceau (25) qui possède une section d'émission (25a) adaptée pour émettre un faisceau vers une pièce de travail (2) et qui permet au faisceau se déplaçant vers la pièce de travail (2) à partir de la source d'émission de faisceau de traverser celle-ci ; d'un élément fixe (6) qui a une surface de fixation (6a) destinée à fixer la pièce de travail (2) et se déplace dans une direction prescrite ; et d'un élément creux (23) qui est de forme creuse de façon à pouvoir se déformer dans des directions tridimensionnelles et qui contient l'élément de passage de faisceau (25). L'élément creux (23) est composé d'au moins un premier élément creux (26) et un second élément creux (27) reliés l'un à l'autre. A une extrémité de l'élément creux (23) est formée une section d'ouverture (37), la première extrémité de l'élément creux (23) est en butée contre la surface de fixation et un état sous vide est généré à l'intérieur de l'élément creux (23).
(JA) 本発明は、小形化が可能でかつコストの低減が可能なビーム加工装置またはビーム観察装置を提供することを目的とする。 本発明のビーム加工装置またはビーム観察装置は、ビーム出射源と、ワーク(2)に向けてビームを出射する出射部(25a)を有しビーム出射源からワーク(2)に向かうビームが通過するビーム通過部材(25)と、ワーク(2)が固定される固定面(6a)を有し所定方向へ移動可能な固定部材(6)と、3次元方向に変形可能にかつ中空状に形成され、ビーム通過部材(25)が内部に配置される中空部材(23)とを備えている。中空部材(23)は、少なくとも、互いに接続される第1の中空部材(26)と第2の中空部材(27)とから構成されている。また、中空部材(23)の一端には開口部(37)が形成され、中空部材(23)の一端は固定面に当接するとともに、中空部材(23)の内部は真空状態とされる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)