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1. (WO2008123434) APPAREIL ROTATIF DE PULVÉRISATION CATHODIQUE AU MAGNÉTRON
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/123434    N° de la demande internationale :    PCT/JP2008/056139
Date de publication : 16.10.2008 Date de dépôt international : 28.03.2008
CIB :
C23C 14/35 (2006.01)
Déposants : NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION TOHOKU UNIVERSITY [JP/JP]; 1-1, Katahira 2-chome, Aoba-ku, Sendai-shi, Miyagi 9808577 (JP) (Tous Sauf US).
TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP) (Tous Sauf US).
OHMI, Tadahiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
GOTO, Tetsuya [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MATSUOKA, Takaaki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : OHMI, Tadahiro; (JP).
GOTO, Tetsuya; (JP).
MATSUOKA, Takaaki; (JP)
Mandataire : IKEDA, Noriyasu; Hibiya Daibiru Bldg. 2-2, Uchisaiwaicho 1-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1000011 (JP)
Données relatives à la priorité :
2007-092058 30.03.2007 JP
Titre (EN) ROTATING MAGNETRON SPUTTERING APPARATUS
(FR) APPAREIL ROTATIF DE PULVÉRISATION CATHODIQUE AU MAGNÉTRON
(JA) 回転マグネットスパッタ装置
Abrégé : front page image
(EN)In a rotating magnetron sputtering apparatus, a target consumption displacement quantity is measured, and corresponding to the measurement results, a distance between a rotating magnet group and a target is adjusted, and uniform film forming rate is achieved over a long period of time so as to reduce the change of a target surface due to consumption of the target and to reduce the change of the film forming rate with time. An ultrasonic sensor or a laser transmitting/receiving device may be used as a means for measuring the consumption displacement quantity of the target.
(FR)Dans un appareil rotatif de pulvérisation cathodique au magnétron, une quantité de déplacement de consommation cible est mesurée et, selon les résultats de mesure, la distance entre un groupe aimant rotatif et une cible est ajustée, et une vitesse de formation de film uniforme est atteinte sur une longue période de temps de façon à réduire le changement de la surface cible dû à la consommation de la cible et à réduire le changement de la vitesse de formation de film avec le temps. Un capteur ultrasonore ou un dispositif d'émission/réception de laser peut être utilisé en tant que moyen pour mesurer la quantité de déplacement de consommation de la cible.
(JA) 回転マグネットスパッタ装置において、ターゲットの消耗によってターゲット表面が変化し、成膜レートが経時変化するのを少なくするために、ターゲットの消耗変位量を測定し、測定結果に応じて、回転磁石群とターゲット間の距離を調整し、均一な成膜レートを長時間に亘って実現する。ターゲットの消耗変位量を測定する手段としては、超音波センサーを用いても良いし、レーザ送受信装置を用いても良い。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)