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1. (WO2008123309) PROCÉDÉ D'ALIMENTATION EN GAZ ET DISPOSITIF D'ALIMENTATION EN GAZ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/123309    N° de la demande internationale :    PCT/JP2008/055747
Date de publication : 16.10.2008 Date de dépôt international : 26.03.2008
CIB :
C23C 16/455 (2006.01), H01L 21/285 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP) (Tous Sauf US).
HARA, Masamichi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
GOMI, Atsushi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
YOKOYAMA, Osamu [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
TANAKA, Toshimasa [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MAEKAWA, Shinji [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
TAGA, Satoshi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : HARA, Masamichi; (JP).
GOMI, Atsushi; (JP).
YOKOYAMA, Osamu; (JP).
TANAKA, Toshimasa; (JP).
MAEKAWA, Shinji; (JP).
TAGA, Satoshi; (JP)
Mandataire : YOSHITAKE, Kenji; Kyowa Patent & Law Office Room 323, Fuji Bldg. 2-3, Marunouchi 3-chome Chiyoda-ku Tokyo (JP)
Données relatives à la priorité :
2007-085652 28.03.2007 JP
Titre (EN) GAS SUPPLY METHOD AND GAS SUPPLY DEVICE
(FR) PROCÉDÉ D'ALIMENTATION EN GAZ ET DISPOSITIF D'ALIMENTATION EN GAZ
(JA) ガス供給方法及びガス供給装置
Abrégé : front page image
(EN)A gas supply method in which a solid raw material in a raw material container is heated and vaporized to produce raw material gas to be supplied to a consuming area. The gas supply method has a step (a) of causing carrier gas to flow to a processing gas supply path that communicates with the consuming area and measuring gas pressure in the processing gas supply path; a step (b) of heating the solid raw material contained in the raw material container to produce the raw material gas; a step (c) of supplying carrier gas which has the same flow rate as the carrier gas in the step (a) to the raw material container and measuring gas pressure in the processing gas supply path while causing the raw material gas together with the carrier gas to flow to the processing gas supply path; and a step (d) of calculating the flow rate of the raw material gas based on the pressure measurement value obtained in the step (a), the pressure measurement value obtained in the step (c), and the flow rate of the carrier gas.
(FR)L'invention concerne un procédé d'alimentation en gaz dans lequel une matière première solide dans un conteneur de matière première est chauffée et vaporisée pour produire un gaz de matière première devant être distribué vers une zone de consommation. Le procédé d'alimentation en gaz a une étape (a) consistant à amener un gaz porteur à s'écouler vers un trajet d'alimentation en gaz de traitement qui communique avec la zone de consommation et consistant à mesurer une pression de gaz dans le trajet d'alimentation en gaz de traitement ; une étape (b) consistant à chauffer la matière première solide contenue dans le conteneur de matière première pour produire le gaz de matière première ; une étape (c) consistant à distribuer un gaz porteur qui a le même débit que le gaz porteur à l'étape (a) vers le conteneur de matière première et consistant à mesurer la pression de gaz dans le trajet d'alimentation en gaz de traitement tout en amenant le gaz de matière première conjointement au gaz porteur à s'écouler vers le trajet d'alimentation en gaz de traitement ; et une étape (d) consistant à calculer le débit du gaz de matière première sur la base de la valeur de mesure de pression obtenue dans l'étape (a), la valeur de mesure de pression obtenue dans l'étape (c) et le débit du gaz porteur.
(JA) 本発明は、原料容器内の固体原料を加熱して気化させた原料ガスを消費区域に供給するガス供給方法において、消費区域に連通する処理ガス供給路にキャリアガスを通流させると共に、当該処理ガス供給路内のガス圧力を測定する工程(a)と、前記原料容器内の固体原料を加熱して、原料ガスを発生させる工程(b)と、前記工程(a)と同じ流量のキャリアガスを前記原料容器内に供給して、このキャリアガスと共に前記原料ガスを前記処理ガス供給路に通流させながら当該処理ガス供給路内のガス圧力を測定する工程(c)と、前記工程(a)で取得した圧力測定値と、前記工程(c)で取得した圧力測定値と、キャリアガスの流量と、に基づいて、前記原料ガスの流量を演算する工程(d)と、を備えたことを特徴とするガス供給方法である。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)