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1. (WO2008123288) APPAREIL DE PIÉGEAGE, SYSTÈME D'ÉCHAPPEMENT ET SYSTÈME DE TRAITEMENT L'UTILISANT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/123288    N° de la demande internationale :    PCT/JP2008/055678
Date de publication : 16.10.2008 Date de dépôt international : 26.03.2008
CIB :
H01L 21/205 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01), B01D 53/34 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP) (Tous Sauf US).
YAMAZAKI, Ryoji [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : YAMAZAKI, Ryoji; (JP)
Mandataire : YOSHITAKE, Kenji; Kyowa Patent & Law Office, Room 323, Fuji Bldg. 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku Tokyo 1000005 (JP)
Données relatives à la priorité :
2007-095823 31.03.2007 JP
Titre (EN) TRAP APPARATUS, EXHAUST SYSTEM, AND TREATING SYSTEM USING THE SAME
(FR) APPAREIL DE PIÉGEAGE, SYSTÈME D'ÉCHAPPEMENT ET SYSTÈME DE TRAITEMENT L'UTILISANT
(JA) トラップ装置、排気系及びこれを用いた処理システム
Abrégé : front page image
(EN)Provided is a trap apparatus, which is disposed in an exhaust passage (22) for discharging an exhaust gas from a treating chamber (10) for treating a work (W), thereby to trap the exhaust from the exhaust gas, so that the exhaust trapped by a trap element can be efficiently eliminated to reproduce the trap element. The trap apparatus comprises a casing (42) disposed in the exhaust passage, a trap element (48) disposed in the casing for trapping the exhaust, a trap heating device (54) for heating the trap element, a coolant introducing device (60) for introducing a coolant into the casing, a coolant discharging unit (62) for discharging the coolant from the casing, and a control unit (88) for making a control to introduce the coolant from the coolant introducing device into the casing, while the trap element being heated by the trap heating device, so as to eliminate the exhaust trapped by the trap element.
(FR)La présente invention concerne un appareil de piégeage disposé dans un passage d'échappement (22), permettant d'évacuer un gaz d'échappement provenant d'une chambre de traitement (10) destinée à traiter un travail (W), dans le but de piéger ainsi l'échappement provenant du gaz d'échappement de telle manière que l'échappement piégé par un élément piège peut être éliminé efficacement afin de reproduire élément piège. L'appareil de piégeage comprend un boîtier (42) disposé dans le passage d'échappement, un élément piège (48) disposé dans le boîtier et destiné à piéger l'échappement, un dispositif de chauffage de piège (54) destiné à chauffer élément piège, un dispositif d'introduction de liquide de refroidissement (60) destiné à introduire un liquide de refroidissement dans le boîtier, une unité d'évacuation de liquide de refroidissement (62) destinée à évacuer le liquide de refroidissement hors du boîtier, ainsi qu'une unité de commande (88) destinée à commander l'introduction dans le boîtier du liquide de refroidissement provenant du dispositif d'introduction de liquide de refroidissement, tandis que l'élément piège est chauffé par le dispositif de chauffage de piège, de façon à éliminer l'échappement piégé par élément piège.
(JA) 被処理体Wに対して処理を行う処理室10からの排気ガスを排出する排気路22に設けられて排気ガス中から排気物を捕捉するためのトラップ装置において、トラップ要素に捕捉された排気物を効率よく除去してトラップ要素を再生することができる技術が提供される。トラップ装置は、排気路に介設される筐体42と、筐体内に設けられて排気物を捕捉するトラップ要素48と、トラップ要素を加熱するトラップ加熱装置54と、筐体内へ冷媒を導入する冷媒導入装置60と、筐体から冷媒を排出するための冷媒排出部62と、トラップ要素で捕捉した排気物を除去するためにトラップ加熱装置によりトラップ要素を加熱した状態で冷媒導入装置より前記冷媒を筐体内に導入するように制御する制御部88とを備えている。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)