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1. (WO2008123196) SOURCE LUMINEUSE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/123196    N° de la demande internationale :    PCT/JP2008/055439
Date de publication : 16.10.2008 Date de dépôt international : 24.03.2008
CIB :
H05H 1/00 (2006.01), G01N 21/01 (2006.01), G01N 21/31 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01)
Déposants : NU Eco Engineering Co., Ltd. [JP/JP]; 1237-87, Aza Umazutsumi, Oaza Kurozasa, Miyoshi-cho, Nishikamo-gun, Aichi 4700201 (JP) (Tous Sauf US).
KATAGIRI Engineering Co., Ltd. [JP/JP]; 401, 16-33, Yako, 1cho-me, Tsurumi-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2300001 (JP) (Tous Sauf US).
HORI, Masaru [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
KANO, Hiroyuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
DEN, Shoji [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : HORI, Masaru; (JP).
KANO, Hiroyuki; (JP).
DEN, Shoji; (JP)
Mandataire : FUJITANI, Osamu; Marunouchi KS Bldg. 16F 18-25 Marunouchi 2-chome Naka-ku Nagoya-shi Aichi 4600002 (JP)
Données relatives à la priorité :
2007-080340 26.03.2007 JP
Titre (EN) LIGHT SOURCE
(FR) SOURCE LUMINEUSE
(JA) 光源
Abrégé : front page image
(EN)[PROBLEMS] To realize a light source enabling accurate measurement of the density of particles without disturbing conditions of plasma. [MEANS FOR SOLVING THE PROBLEMS] The light source has a tubular casing (12), a cooling medium channel (30) provided along the inner wall of the casing and allowing a cooling medium to flow in the channel, a lens (50) disposed at the front end of the casing, a first electrode (44) and a second electrode (45) disposed at positions located on this side of the lens and in the casing so as to be vertical to the axis of the casing and parallel with each other, and an insulation spacer (46) disposed between the first and second electrodes. A hole (47) axially extends through the centers of the first electrode, the insulation spacer, and the second electrode. The light source further has an electric discharge gas channel for introducing an electric discharge gas along the inner wall of the cooling medium channel toward the rear surface of the lens and causing the discharge gas to be reflected by the lens to allow the gas to flow through the hole.
(FR)Le problème à résoudre dans le cadre de l'invention consiste en l'obtention d'une source lumineuse permettant d'effectuer une mesure précise de la densité de particules sans perturber les états du plasma. A cet effet, la source lumineuse selon l'invention présente une enveloppe tubulaire (12), un canal pour milieu de refroidissement (30) conçu le long de la paroi intérieure de l'enveloppe et permettant à un milieu de refroidissement de circuler dans le canal, une lentille (50) disposée à l'extrémité avant de l'enveloppe, une première électrode (44) et une seconde électrode (45) disposées au niveau de positions situées sur le côté de la lentille et dans l'enveloppe de manière à être verticales relativement à l'axe de l'enveloppe et parallèles l'une par rapport à l'autre, ainsi qu'un séparateur solant (46) disposé entre les première et seconde électrodes. Un trou (47) s'étend axialement à travers les centres de la première électrode, du séparateur isolant et de la seconde électrode. La source lumineuse présente également un canal pour gaz de décharge électrique pour l'introduction d'un gaz de décharge électrique le long de la paroi intérieure du canal pour milieu de refroidissement vers la surface arrière de la lentille et amenant le gaz de décharge à être réfléchi par la lentille afin de permettre au gaz de s'écouler à travers le trou.
(JA)【課題】プラズマの状態を乱すことなく、粒子密度を正確に測定できる光源を実現すること。 【解決手段】本光源は、管状の筐体12と、筐体の内壁に沿って設けられた、冷却媒体を流通させる冷却媒体流通路30と、筐体の先端に配設されたレンズ50と、レンズの手前であって、筐体内部において、その筐体の軸に垂直に、相互に平行に、配設された第1電極44及び第2電極46と、その間に配設された絶縁スペーサ46とを有する。第1電極、絶縁スペーサ及び第2電極の中央部を軸の方向に貫通する孔47を有する。冷却媒体流通路の内壁に沿って、放電ガスを、レンズの裏面に向かって導入し、レンズで反射させて、孔を通して、流通させる放電ガス流通路を設けた。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)