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1. (WO2008122626) MODULE D'ÉLÉMENT OPTIQUE À CORRECTION DE POSITION ET D'ERREUR D'IMAGERIE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/122626    N° de la demande internationale :    PCT/EP2008/054154
Date de publication : 16.10.2008 Date de dépôt international : 07.04.2008
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), G02B 7/02 (2006.01)
Déposants : CARL ZEISS SMT AG [DE/DE]; Rudolf-Eber-Str. 2, 73447 Oberkochen (DE) (Tous Sauf US).
GELLRICH, Bernhard [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
KUGLER, Jens [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
LIMBACH, Guido [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : GELLRICH, Bernhard; (DE).
KUGLER, Jens; (DE).
LIMBACH, Guido; (DE)
Mandataire : LOTZE, C.; Cohausz & Florack, Bleichstrasse 14, 40211 Düsseldorf (DE)
Données relatives à la priorité :
PCT/EP2007/053382 05.04.2007 EP
Titre (EN) OPTICAL ELEMENT MODULE WITH IMAGING ERROR AND POSITION CORRECTION
(FR) MODULE D'ÉLÉMENT OPTIQUE À CORRECTION DE POSITION ET D'ERREUR D'IMAGERIE
Abrégé : front page image
(EN)There is provided an optical element module (106) comprising an optical element (107) and a support structure (108) supporting the optical element, the support structure comprising a first holding structure (109), an intermediate structure (110) and a second holding structure (111). The first holding structure (109) contacts the optical element (107) and is adapted to adjustably introduce defined deformations into the optical element. The intermediate structure (110) supports the first holding structure (109) while the second holding structure (111) supports the intermediate structure (110) and is adapted to adjust the -position of the intermediate structure. The optical element module is used 'in microlithography systems for compensating aberrations. The holding structures are arranged Kinematically in series. Also provided is an optical element module wherein the first holding structure is adapted to adjust the position and the second is adapted to adjustably introduce deformations. Further provided is an optical element module wherein one of the deformation or position adjustment is omitted.
(FR)L'invention concerne un module d'élément optique comprenant un élément optique et une structure de support qui soutient l'élément optique, la structure de support comprenant une première structure de retenue, une structure intermédiaire et une seconde structure de retenue. La première structure de retenue se trouve en contact avec l'élément optique et est apte à introduire de manière réglable des déformations définies dans l'élément optique. La structure intermédiaire soutient la première structure de retenue tandis que la seconde structure de retenue soutient la structure intermédiaire et est apte à régler la position de ladite structure intermédiaire.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)