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1. (WO2008122335) APPAREIL DE MESURE DE SUBSTRATS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/122335    N° de la demande internationale :    PCT/EP2008/001817
Date de publication : 16.10.2008 Date de dépôt international : 07.03.2008
CIB :
G03F 1/00 (2012.01), G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : CARL ZEISS SMS GMBH [DE/DE]; Carl-Zeiss-Promenade 10, 07745 Jena (DE) (Tous Sauf US).
STROESSNER, Ulrich [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
KLOSE, Gerd [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
HOF, Albrecht [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
FREY, Monika [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : STROESSNER, Ulrich; (DE).
KLOSE, Gerd; (DE).
HOF, Albrecht; (DE).
FREY, Monika; (DE)
Mandataire : GEYER, FEHNERS & PARTNER (G.b.R.); Sellierstr. 1, 07745 Jena (DE)
Données relatives à la priorité :
60/910,377 05.04.2007 US
10 2007 034 942.6 24.07.2007 DE
Titre (EN) APPARATUS FOR MEASUREMENT OF SUBSTRATES
(FR) APPAREIL DE MESURE DE SUBSTRATS
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to an apparatus for measurement of substrates, comprising a carrier (2) for receiving the substrate to be measured; a measurement objective which images onto a detector a portion of the substrate held by the carrier (2); a measurement device by which the position of the carrier (2) is imaged onto a detector (12); a measurement device by which the position of the carrier (2) holding the substrate is determined relative to the measurement objective, with the measurement device comprising at least one laser interferometer (5) for position determination; a first flushing device which passes a first flushing medium in a laminar flow through the apparatus for generating a constant measurement atmosphere, as well as an adjustment device by which the carrier (2) can be moved relative to the measurement objective. In such an apparatus, a second flushing device is provided which passes a second flushing medium through the region of the measurement device in which the at least one laser interferometer (5) is located.
(FR)L'invention concerne un appareil permettant de mesurer des substrats, qui comprend un support (2) qui reçoit le substrat à mesurer; un objectif de mesure qui image sur un détecteur une partie du substrat retenu par le support (2); un dispositif de mesure par lequel la position du support (2) est imagée sur un détecteur (12); un dispositif de mesure par lequel la position du support (2) retenant le substrat est déterminée par rapport à l'objectif de mesure, le dispositif de mesure comprenant au moins un interféromètre laser (5) de détermination de position; un premier dispositif de rinçage qui passe un premier milieu de rinçage dans un écoulement laminaire à travers l'appareil pour générer une atmosphère de mesure constante, ainsi qu'un dispositif de réglage grâce auquel le support (2) peut se déplacer par rapport à l'objectif de mesure. Dans un tel appareil, un second dispositif de rinçage passe un second milieu de rinçage à travers la zone du dispositif de mesure dans lequel se trouve au moins interféromètre laser (5).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)