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1. (WO2008121628) APPAREIL ET PROCÉDÉS POUR LA CORRECTION D'IRRÉGULARITÉS SYSTÉMATIQUES AU MOYEN D'UN FAISCEAU D'IONS D'AMAS GAZEUX
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/121628    N° de la demande internationale :    PCT/US2008/058171
Date de publication : 09.10.2008 Date de dépôt international : 26.03.2008
CIB :
H01L 21/66 (2006.01)
Déposants : TEL EPION INC. [US/US]; 37 Manning Road, Billerica, MA 01821 (US) (Tous Sauf US).
CALIENDO, Steven [US/US]; (US) (US Seulement).
HOFMEESTER, Nicolaus [NL/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : CALIENDO, Steven; (US).
HOFMEESTER, Nicolaus; (US)
Mandataire : ALLEN, William, R., Ph.D.; Wood, Herron & Evans, L.L.P., 441 Vine Street, 2700 Carew Tower, Cincinnati, OH 45202 (US)
Données relatives à la priorité :
11/694,557 30.03.2007 US
Titre (EN) APPARATUS AND METHODS FOR SYSTEMATIC NON-UNIFORMITY CORRECTION USING A GAS CLUSTER ION BEAM
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉS POUR LA CORRECTION D'IRRÉGULARITÉS SYSTÉMATIQUES AU MOYEN D'UN FAISCEAU D'IONS D'AMAS GAZEUX
Abrégé : front page image
(EN)Embodiments of an apparatus and methods for correcting systematic non- uniformities using a gas cluster ion beam (202) are generally described herein. Other embodiments may be described and claimed.
(FR)L'invention concerne, de manière générale, des modes de mise en oeuvre d'un appareil et de procédés permettant de corriger des irrégularités systématiques au moyen d'un faisceau d'ions d'amas gazeux (202). L'invention concerne d'autres modes de mise en oeuvre pouvant être décrits et revendiqués.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)