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1. (WO2008120445) STRUCTURE DE FIXATION DE DÉTECTEUR ET APPAREIL DE DÉPÔT DE FILM SOUS VIDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/120445    N° de la demande internationale :    PCT/JP2008/000480
Date de publication : 09.10.2008 Date de dépôt international : 07.03.2008
CIB :
C23C 14/54 (2006.01), C23C 14/32 (2006.01)
Déposants : SHINMAYWA INDUSTRIES, LTD. [JP/JP]; 1-1, Shinmeiwa-cho, Takarazuka-shi, Hyogo 6658550 (JP) (Tous Sauf US).
KOIZUMI, Yasuhiro; (US Seulement).
NOSE, Kouichi; (US Seulement)
Inventeurs : KOIZUMI, Yasuhiro; .
NOSE, Kouichi;
Mandataire : PATENT CORPORATE BODY ARCO PATENT OFFICE; 3rd Fl., Bo-eki Bldg., 123-1, Higashimachi, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6500031 (JP)
Données relatives à la priorité :
2007-089806 29.03.2007 JP
Titre (EN) SENSOR FIXING STRUCTURE AND VACUUM FILM DEPOSITION APPARATUS
(FR) STRUCTURE DE FIXATION DE DÉTECTEUR ET APPAREIL DE DÉPÔT DE FILM SOUS VIDE
(JA) センサの取付構造及び真空成膜装置
Abrégé : front page image
(EN)A sensor fixing structure (50) comprises a base material holder (6a) for holding a base material (21a) while cooling the base material with a cooling fluid flowing inside the base material holder, a sensor (55) for detecting physical quantities related to film deposition on the substrate (21a) (hereinafter, referred to as film deposition related quantities), a converter (54) integrated with the sensor (55) to transmit the film deposition related physical quantities and converting the film deposition related physical quantities into a transmission signal, and a container (52) for containing the converter (54) to expose the sensor (55) to the outside. The container (52) is fixed to the base material holder (6a) such that the container can be cooled by the cooling fluid.
(FR)L'invention concerne une structure de fixation de détecteur (50) qui comprend un support de matériau de base (6a) pour maintenir un matériau de base (21a) tout en refroidissant le matériau de base avec un fluide de refroidissement s'écoulant à l'intérieur du support de matériau de base, un détecteur (55) pour détecter des quantités physiques liés au dépôt de film sur le substrat (21a) (ci-après, appelé quantité liée au dépôt de film), un convertisseur (54) intégré avec le détecteur (55) pour transmettre les quantités physiques liées au dépôt de film et convertir les quantités physiques liées au dépôt de film en un signal de transmission, et un conteneur (52) pour contenir le convertisseur (54) pour exposer le détecteur (55) à l'extérieur. Le conteneur (52) est fixé au support de matériau d'aide (6a) de telle sorte que le conteneur peut être refroidi par le fluide de refroidissement.
(JA) 本発明のセンサの取付構造(50)は、基材(21a)をその内部を流れる冷却流体により冷却するようにして保持する基材ホルダ(6a)と、基材(21a)上への成膜に関連する物理量(以下、成膜関連物理量)を検出するセンサ(55)と、成膜関連物理量を伝達可能なようにセンサ(55)と一体化されかつ成膜関連物理量を伝送信号に変換する変換器(54)と、センサ(55)がその外部に露出するようにして変換器(54)をその内部に収容する容器(52)と、を備え、容器(52)がこれを冷却流体によって冷却することが可能なように基材ホルダ(6a)に取り付けられている。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)