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1. (WO2008119687) APPAREIL POUR GÉNÉRER UN PLASMA
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/119687    N° de la demande internationale :    PCT/EP2008/053452
Date de publication : 09.10.2008 Date de dépôt international : 21.03.2008
CIB :
H05H 1/46 (2006.01), H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : ECOLE POLYTECHNIQUE [FR/FR]; Route de Saclay, F-91120 Palaiseau (FR) (Tous Sauf US).
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE [FR/FR]; 3 rue Michel Ange, F-75794 Paris Cedex 16 (FR) (Tous Sauf US).
BULKIN, Pavel [FR/FR]; (FR) (US Seulement).
DREVILLON, Bernard [FR/FR]; (FR) (US Seulement)
Inventeurs : BULKIN, Pavel; (FR).
DREVILLON, Bernard; (FR)
Mandataire : MICHELET, Alain; Cabinet HARLE et PHELIP, 7 rue de Madrid, F-75008 Paris (FR)
Données relatives à la priorité :
07300913.6 30.03.2007 EP
Titre (EN) APPARATUS FOR GENERATING A PLASMA
(FR) APPAREIL POUR GÉNÉRER UN PLASMA
Abrégé : front page image
(EN)The present invention concerns an apparatus for generating a plasma comprising a vacuum chamber (1) comprising a wall (2) and a plasma source (5) comprising one or more devices for exciting the plasma (6), and means for generating a constant magnetic field around the plasma in order to couple microwave energy into plasma at electron cyclotron resonance, each of said devices for exciting the plasma (6) comprising a coaxial microwave connector (7) able to be connected to a microwave energy source and a loop antenna (9) able to emit a microwave energy for exciting the plasma. According to the invention, the loop antenna (9) of the one or more devices for exciting the plasma (6) is positioned inside the vacuum chamber (1) in order to be in contact with the plasma and the means for generating a constant magnetic field comprises at least two magnetic dipoles (10) placed on the wall of the vacuum chamber (1), each of said one or more devices for exciting the plasma (6) having said two magnetic dipoles (10) placed on both sides.
(FR)La présente invention concerne un appareil pour générer un plasma qui comporte une chambre à vide (1) comportant une paroi (2) et une source de plasma (5) comportant un ou plusieurs dispositifs pour exciter le plasma (6), et un moyen pour générer un champ magnétique constant autour du plasma afin de coupler une énergie à micro-ondes dans le plasma à une résonance cyclotronique des électrons, chacun desdits dispositifs pour exciter le plasma (6) comportant un connecteur (7) à micro-ondes coaxial capable d'être connecté à une source d'énergie à micro-ondes et une antenne cadre (9) conçue pour émettre une énergie à micro-ondes pour exciter le plasma. Conformément à l'invention, l'antenne cadre (9) du ou des dispositifs pour exciter le plasma (6) est positionnée à l'intérieur de la chambre à vide (1) afin d'être en contact avec le plasma et le moyen de génération d'un champ magnétique constant comporte au moins deux dipôles magnétiques (10) placés sur la paroi de la chambre à vide (1), chacun desdits dispositifs pour exciter le plasma (6) ayant lesdits deux dipôles magnétiques (10) placés sur les deux côtés.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)