WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2008118683) MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE À ÉLECTRODES SÉPARÉES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/118683    N° de la demande internationale :    PCT/US2008/057320
Date de publication : 02.10.2008 Date de dépôt international : 18.03.2008
CIB :
C23C 14/50 (2006.01), H01J 37/20 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01), H01L 21/687 (2006.01), H02N 13/00 (2006.01)
Déposants : VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. [US/US]; 35 Dory Road, Gloucester, MA 01930 (US) (Tous Sauf US).
BLAKE, Julian, G. [US/US]; (US) (US Seulement).
STONE, Dale, K. [US/US]; (US) (US Seulement).
STONE, Lyudmila [US/US]; (US) (US Seulement).
SUURONEN, David [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : BLAKE, Julian, G.; (US).
STONE, Dale, K.; (US).
STONE, Lyudmila; (US).
SUURONEN, David; (US)
Mandataire : CHOI, Changhoon; Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc., 35 Dory Road, Gloucester, MA 01930 (US)
Données relatives à la priorité :
11/690,950 26.03.2007 US
Titre (EN) ELECTROSTATIC CHUCK WITH SEPARATED ELECTRODES
(FR) MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE À ÉLECTRODES SÉPARÉES
Abrégé : front page image
(EN)Electrostatic clamping devices and methods for reducing contamination to a workpiece coupled to an electrostatic clamping device are disclosed. According to an embodiment, an electrostatic clamping device for coupling a workpiece comprises: an embossment portion on a surface of a body to contact the workpiece; and at least two electrodes within the body; wherein the two electrodes are separated by a separation portion below the embossment portion.
(FR)L'invention concerne des dispositifs de serrage électrostatiques et des procédés pour réduire la contamination d'une pièce de fabrication couplée à un dispositif de serrage électrostatique. Selon un mode de réalisation, un dispositif de serrage électrostatique pour coupler une pièce de fabrication comporte : une portion de bosselage sur la surface d'un corps pour venir en contact avec la pièce de fabrication; et au moins deux électrodes comprises dans le corps. Les deux électrodes sont séparées par une portion de séparation située sous la portion de bosselage.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)