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1. (WO2008091550) POSITIONNEUR ROTATIF ET PROCÉDÉS POUR DES SYSTÈMES DE TEST DE PLAQUETTE SEMI-CONDUCTRICE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/091550    N° de la demande internationale :    PCT/US2008/000708
Date de publication : 31.07.2008 Date de dépôt international : 18.01.2008
CIB :
G01R 31/28 (2006.01), G01R 1/073 (2006.01), G01R 1/04 (2006.01)
Déposants : TERADYNE, INC. [US/US]; 600 Riverpark Drive, North Reading, MA 01864 (US) (Tous Sauf US).
PARRISH, Frank [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : PARRISH, Frank; (US)
Mandataire : RIKKERS, David, J.; Foley & Lardner Llp, 111 Huntington Avenue, Boston, MA 02199 (US)
Données relatives à la priorité :
11/656,825 23.01.2007 US
Titre (EN) ROTATIONAL POSITIONER AND METHODS FOR SEMICONDUCTOR WAFER TEST SYSTEMS
(FR) POSITIONNEUR ROTATIF ET PROCÉDÉS POUR DES SYSTÈMES DE TEST DE PLAQUETTE SEMI-CONDUCTRICE
Abrégé : front page image
(EN)A semiconductor wafer prober is configured to rotate a semiconductor wafer into relative alignment with a wafer-interface probe adapted to simultaneously probe a number of integrated circuits within a sector of the semiconductor wafer. The wafer can include integrated circuits having different orientations, such that all of the integrated circuits within a given sector being tested have the same orientation. For example, a semiconductor wafer can include two semicircular sectors, with the integrated circuits on either sector having a common orientation rotated 180 degrees from a common orientation of the integrated circuits of the other sector. A wafer- interface probe, or probe card, adapted to test the entire semicircular sector during a single touch down is able to test the entire wafer with one rotational translation between testing.
(FR)L'invention concerne un dispositif pour sonder une plaquette semi-conductrice qui est configuré pour faire tourner une plaquette semi-conductrice en un alignement relatif avec une sonde plaquette-interface conçue pour sonder simultanément plusieurs circuits intégrés situés à l'intérieur d'un secteur de la plaquette semi-conductrice. La plaquette peut comprendre des circuits intégrés ayant des orientations différentes, de sorte que la totalité des circuits intégrés d'un secteur donné testé ont la même orientation. Par exemple, une plaquette semi-conductrice peut comprendre deux secteurs semi-circulaires, les circuits intégrés situés sur l'un ou l'autre secteur ayant une orientation commune tournée de 180° à partir d'une orientation commune des circuits intégrés de l'autre secteur. Une sonde plaquette-interface, ou une carte de sonde, conçue pour tester le secteur semi-circulaire entier pendant un seul contact est capable de tester la plaquette complète avec une translation en rotation entre des tests.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)