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1. (WO2008091360) PROCESSEUR ÉLECTROCHIMIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/091360    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/071474
Date de publication : 31.07.2008 Date de dépôt international : 18.06.2007
CIB :
H01L 23/06 (2006.01)
Déposants : SEMITOOL, INC. [US/US]; 655 West Reserve Drive, Kalispell, Montana 59901 (US) (Tous Sauf US).
WOODRUFF, Daniel J. [US/US]; (US) (US Seulement).
MCHUGH, Paul R. [US/US]; (US) (US Seulement).
WILSON, Gregory J. [US/US]; (US) (US Seulement).
HANSON, Kyle M. [US/US]; (US) (US Seulement).
STEWART, Nigel [US/US]; (US) (US Seulement).
LUND, Erik [US/US]; (US) (US Seulement).
PEACE, Steven L. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : WOODRUFF, Daniel J.; (US).
MCHUGH, Paul R.; (US).
WILSON, Gregory J.; (US).
HANSON, Kyle M.; (US).
STEWART, Nigel; (US).
LUND, Erik; (US).
PEACE, Steven L.; (US)
Mandataire : OHRINER, Kenneth H.; Perkins Coie LLP, 1620 26th Street, 6th Floor South, Santa Monica, California 90404 (US)
Données relatives à la priorité :
11/457,192 13.07.2006 US
11/467,232 25.08.2006 US
11/608,151 07.12.2006 US
Titre (EN) ELECTRO-CHEMICAL PROCESSOR
(FR) PROCESSEUR ÉLECTROCHIMIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A processor for making porous silicon or processing other substrates has first and second chamber assemblies. The first and second chamber assemblies include first and second seals for sealing against a wafer, and first and second electrodes, respectively. The first and/or second seal is moveable towards and away from a wafer in the processor, to move between a wafer load/unload position, and a wafer process position. The first electrode may move along with the first seal, and the second electrode may move along with the second seal. A light source shines light onto the first side of the wafer. The processor may be pivotable from a substantially horizontal orientation, for loading and unloading a wafer, to a substantially vertical orientation, for processing a wafer.
(FR)La présente invention concerne un processeur pour la fabrication de silicium poreux ou le traitement d'autres substrats comportant des premier et second ensembles d'enceinte. Les premier et second ensembles d'enceinte comprennent des premier et second joints destinés à être scellés contre une tranche, et des première et seconde électrodes, respectivement. Le premier et/ou le second joint est mobile en rapprochement et en éloignement d'une tranche dans le processeur, pour se déplacer entre une position de chargement/déchargement de tranche, et une position de traitement de tranche. La première électrode peut se déplacer conjointement avec le premier joint, et la seconde électrode peut se déplacer conjointement avec le second joint. Une source lumineuse projette de la lumière sur la première face de la tranche. Le processeur peut être apte à pivoter depuis une orientation sensiblement horizontale, pour charger et décharger une tranche, vers une orientation sensiblement verticale, pour traiter une tranche.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)