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1. (WO2008091309) RÉSEAU DE STABILITÉ D'AMPLIFICATEUR DE PUISSANCE RF
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/091309    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/022468
Date de publication : 31.07.2008 Date de dépôt international : 23.10.2007
CIB :
H05H 1/36 (2006.01)
Déposants : MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 2 Tech Drive, Suite 201, Andover, MA 01810 (US) (Tous Sauf US).
POLIZZO, Salvatore [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : POLIZZO, Salvatore; (US)
Mandataire : LAFATA, Joseph, M.; Harness, Dickey & Pierce, P.L.C., P.o. Box 828, Bloomfield Hills, MI 48303 (US)
Données relatives à la priorité :
11/627,002 25.01.2007 US
Titre (EN) RF POWER AMPLIFIER STABILITY NETWORK
(FR) RÉSEAU DE STABILITÉ D'AMPLIFICATEUR DE PUISSANCE RF
Abrégé : front page image
(EN)A radio frequency (RF) generator for applying RF power to a plasma chamber includes a DC power supply (B+). A radio frequency switch generates the RF power at a center frequency f0. A low-pass dissipative terminated network connects between the DC power supply (B+) and the switch and includes operates at a first cutoff frequency. The switch outputs a signal to an output network which improves the fidelity of the system. The output network generates an output signal fed to a high-pass subharmonic load isolation filter that passes RF power above a predetermined frequency. A low-pass harmonic load isolation filter may be inserted between the output network and the high- pass subharmonic load isolation filter, and a high-pass terminated network may connect to the output of the output network. The high-pass terminated network dissipates RF power above a predetermined frequency. An offline short or shunt network may connect between the output of the switch and the input of the output network for shorting the output of the switch at predetermined frequencies.
(FR)Un générateur de radio fréquence (RF) pour appliquer une puissance radiofréquence à une chambre de plasma comprend une alimentation électrique en courant continu (B+). Un commutateur radiofréquence génère la puissance radiofréquence à une fréquence centrale f0. Un réseau à terminaison de dissipation passe-bas se connecte entre l'alimentation électrique en courant continu (B+) et le commutateur et opère à une première fréquence de coupure. Le commutateur émet un signal à un réseau de sortie qui améliore la fidélité du système. Le réseau de sortie génère un signal de sortie adressé à un filtre d'isolation de charge sous-harmonique passe-haut qui fait passer l'énergie radiofréquence au-dessus d'une fréquence prédéterminée. Un filtre d'isolation de charge harmonique passe-bas peut être inséré entre le réseau de sortie et le filtre d'isolation de charge sous-harmonique passe-haut, et un réseau à terminaison passe-haut peut se connecter à la sortie du réseau de sortie. Le réseau à terminaison passe-haut dissipe la puissance radiofréquence au-dessus d'une fréquence prédéterminée. Un réseau de court-circuit ou de dérivation hors ligne peut se connecter entre la sortie du commutateur et l'entrée du réseau de sortie pour court-circuiter la sortie du commutateur à des fréquences prédéterminées.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)