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1. (WO2008091014) SYSTÈME DE RÉCUPÉRATION DE LIQUIDE, APPAREIL D'EXPOSITION PAR IMMERSION, PROCÉDÉ D'EXPOSITION PAR IMMERSION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/091014    N° de la demande internationale :    PCT/JP2008/051328
Date de publication : 31.07.2008 Date de dépôt international : 23.01.2008
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (Tous Sauf US).
NAGASAKA, Hiroyuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : NAGASAKA, Hiroyuki; (JP)
Mandataire : SHIGA, Masatake; 1-9-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1006620 (JP)
Données relatives à la priorité :
60/881,826 23.01.2007 US
12/010,162 22.01.2008 US
Titre (EN) LIQUID RECOVERY SYSTEM, IMMERSION EXPOSURE APPARATUS, IMMERSION EXPOSING METHOD, AND DEVICE FABRICATING METHOD
(FR) SYSTÈME DE RÉCUPÉRATION DE LIQUIDE, APPAREIL D'EXPOSITION PAR IMMERSION, PROCÉDÉ D'EXPOSITION PAR IMMERSION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
Abrégé : front page image
(EN)A liquid recovery system is used by an immersion exposure apparatus. The liquid recovery system is provided with: a first opening (33); a gap portion (15) that is provided so that a liquid on an object that opposes the first opening can flow into the gap portion through the first opening; a liquid recovery part that suctions, through a porous member (30), at least part of the liquid that flows into the gap portion; and a second opening (34). that is different from the first opening. The gap portion is open to the atmosphere through the second opening.
(FR)L'invention concerne un système de récupération de liquide utilisé par un appareil d'exposition par immersion. Le système de récupération de liquide comprend: une première ouverture; un espace prévu pour récupérer un liquide sur un objet faisant face à la première ouverture s'écoule à travers cette dernière; une partie de récupération de liquide qui aspire, à l'aide d'un élément poreux, au moins une partie du liquide qui s'écoule dans ledit espace; et une seconde ouverture différente de la première. L'espace est ouvert à l'air ambiant par la seconde ouverture.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)