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1. (WO2008089898) APPAREIL DE MESURE DE DISTRIBUTION DE PUISSANCE DE RAYONNEMENT ET PROCÉDÉ DE MESURE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/089898    N° de la demande internationale :    PCT/EP2008/000253
Date de publication : 31.07.2008 Date de dépôt international : 15.01.2008
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : CARL ZEISS SMT AG [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2, 73447 Oberkochen (DE) (Tous Sauf US).
FREIMANN, Rolf [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : FREIMANN, Rolf; (DE)
Mandataire : SUMMERER, Christian; Zeuner & Summerer, Hedwigstrasse 9, 80636 München (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2007 003 444.1 23.01.2007 DE
60/881,931 23.01.2007 US
Titre (EN) IRRADIATION STRENGTH DISTRIBUTION MEASURING APPARATUS AND METHOD OF MEASURING
(FR) APPAREIL DE MESURE DE DISTRIBUTION DE PUISSANCE DE RAYONNEMENT ET PROCÉDÉ DE MESURE
Abrégé : front page image
(EN)A projection exposure tool (10) for microlithography with a measuring apparatus (36) disposed in an optical path (28) of the projection exposure tool (10) for the locally and angularly resolved measurement of an irradiation strength distribution is provided. Here the measuring apparatus (36) comprises a measuring field with an arrangement (56) of focussing optical elements (42) disposed at individual points (Xi, yj) of the measuring field (41), a common image plane (44) for the focussing optical elements (42), a locally resolving radiation detector (46) with a recording surface (48) for the locally resolved recording of a radiation intensity, the recording surface (48) being disposed in the common image plane (44), and an evaluation device (60) which is set up to establish a respective angularly resolved irradiation strength distribution for each individual measuring field point (Xi, yj) from the recorded radiation intensity.
(FR)La présente invention concerne un outil d'exposition par projection (10) pour microlithographie avec un appareil de mesure (36) disposé dans un trajet optique (28) de l'outil d'exposition par projection (10) pour la mesure résolue localement et angulairement d'une distribution de puissance de rayonnement. Dans le cas présent, l'appareil de mesure (36) comprend un champ de mesure avec un agencement (56) d'éléments optiques de focalisation (42) disposés au niveau de points individuels (Xi, yj) du champ de mesure (41), un plan d'image commun (44) pour les éléments optiques de focalisation (42), un détecteur de rayonnement à résolution locale (46) avec une surface d'enregistrement (48) pour l'enregistrement résolu localement d'une intensité de rayonnement, la surface d'enregistrement (48) étant disposée dans le plan d'image commun (44), et un dispositif d'évaluation (60) qui est installé afin d'établir une distribution de puissance de rayonnement résolue angulairement respective pour chaque point individuel du champ de mesure (Xi, yj) à partir de l'intensité de rayonnement enregistrée.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)