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1. (WO2008088971) TECHNIQUES POUR FOURNIR DES MATÉRIAUX D'ALIMENTATION DE SOURCE D'IONS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/088971    N° de la demande internationale :    PCT/US2008/050478
Date de publication : 24.07.2008 Date de dépôt international : 08.01.2008
CIB :
H01J 27/02 (2006.01), H01J 37/08 (2006.01), H01J 37/317 (2006.01), F17C 9/02 (2006.01)
Déposants : VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. [US/US]; 35 Dory Road, Gloucester, MA 01930 (US) (Tous Sauf US).
HATEM, Christopher, R. [US/US]; (US) (US Seulement).
CHANEY, Craig, R. [US/US]; (US) (US Seulement).
COBB, Eric, R. [US/US]; (US) (US Seulement).
OLSON, Joseph, C. [US/US]; (US) (US Seulement).
CAMPBELL, Chris [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : HATEM, Christopher, R.; (US).
CHANEY, Craig, R.; (US).
COBB, Eric, R.; (US).
OLSON, Joseph, C.; (US).
CAMPBELL, Chris; (US)
Mandataire : CHOI, Changhoon; Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc., 35 Dory Road, Gloucester, MA 01930 (US)
Données relatives à la priorité :
60/872,447 11.01.2007 US
11/776,217 11.07.2007 US
Titre (EN) TECHNIQUES FOR PROVIDING ION SOURCE FEED MATERIALS
(FR) TECHNIQUES POUR FOURNIR DES MATÉRIAUX D'ALIMENTATION DE SOURCE D'IONS
Abrégé : front page image
(EN)Techniques for providing ion source feed materials are disclosed. In one particular exemplary embodiment, the techniques may be realized as a container for supplying an ion source feed material. The container may comprise an internal cavity to be pre-filled with an ion source feed material. The container may also comprise an outer body configured to be removably loaded into a corresponding housing that is coupled to an ion source chamber via a nozzle assembly. The container may further comprise an outlet to seal in the pre-filled ion source feed material, the outlet being further configured to engage with the nozzle assembly to establish a flow path between the internal cavity and the ion source chamber. The container may be configured to be a disposable component.
(FR)L'invention concerne des techniques pour fournir des matériaux d'alimentation de source d'ions. Dans un mode de réalisation particulier donné en exemple, les techniques peuvent être réalisées sous la forme d'un conteneur destiné à la fourniture d'un matériau d'alimentation de source d'ions. Le conteneur peut comprendre une cavité interne destinée à être préremplie avec un matériau d'alimentation de source d'ions. Le conteneur peut aussi comprendre un corps extérieur configuré pour être chargé de manière amovible dans un boîtier correspondant qui est couplé à une chambre de source ions via un ensemble de buse. Le conteneur peut en outre comprendre une sortie afin de sceller le matériau d'alimentation de source d'ions prérempli à l'intérieur, la sortie étant de plus configurée pour venir en prise avec l'ensemble de buse pour établir un trajet d'écoulement entre la cavité interne et la chambre de source d'ions. Le conteneur peut être configuré pour être un composant jetable.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)