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1. (WO2008088551) OXYDES CONDUCTEURS TRANSPARENTS ET LEUR FABRICATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/088551    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/060553
Date de publication : 24.07.2008 Date de dépôt international : 16.01.2007
CIB :
H01L 21/203 (2006.01), C23C 14/34 (2006.01), H01L 31/04 (2006.01)
Déposants : MIDWEST RESEARCH INSTITUTE [US/US]; 425 Volker Boulevard, Kansas City, Missouri 64110 (US) (Tous Sauf US).
GESSERT, Timothy A. [US/US]; (US) (US Seulement).
YOSHIDA, Yuki [JP/US]; (US) (US Seulement).
COUTTS, Timothy J. [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : GESSERT, Timothy A.; (US).
YOSHIDA, Yuki; (US).
COUTTS, Timothy J.; (US)
Mandataire : WHITE, Paul J.; National Renewable Energy Laboratory, 1617 Cole Boulevard, Golden, Colorado 80401 (US)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) TRANSPARENT CONDUCTING OXIDES AND PRODUCTION THEREOF
(FR) OXYDES CONDUCTEURS TRANSPARENTS ET LEUR FABRICATION
Abrégé : front page image
(EN)Transparent conducting oxides and production thereof are disclosed. An exemplary method of producing a transparent conducting oxide (TCO) material may comprise: providing a TCO target (110) doped with either a high-permittivity oxide or a low-permittivity oxide in a process chamber (100). The method may also comprise depositing a metal oxide on the target (110) to form a thin film having enhanced optical properties without substantially decreasing electrical quality.
(FR)L'invention porte sur des oxydes conducteurs transparents et sur leur fabrication. A titre d'exemple, un procédé de fabrication d'un matériau d'oxyde conducteur transparent (TCO) peut comporter les opérations consistant à se procurer une cible TCO (110) dopée soit par un oxyde à haute permittivité, soit par un oxyde à basse permittivité dans une chambre de traitement (100). Le procédé peut également comporter le dépôt d'un oxyde métallique sur la cible (110) pour former un film mince ayant des propriétés optiques améliorées sans diminution substantielle de la qualité électrique.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)