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1. (WO2008088076) SOLUTION DE DÉVELOPPEMENT ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN MATÉRIAU À MOTIFS FINS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/088076    N° de la demande internationale :    PCT/JP2008/050931
Date de publication : 24.07.2008 Date de dépôt international : 17.01.2008
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    17.11.2008    
CIB :
G03F 7/32 (2006.01), G11B 7/26 (2006.01)
Déposants : SONY CORPORATION [JP/JP]; 1-7-1 Konan, Minato-ku, Tokyo 1080075 (JP) (Tous Sauf US).
SAITO, Noriyuki [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
ADACHI, Norio [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : SAITO, Noriyuki; (JP).
ADACHI, Norio; (JP)
Mandataire : SUGIURA, Masatomo; 2nd Floor, Metrocity Minami Ikebukuro 29-12, Minami Ikebukuro 2-chome Toshima-ku, Tokyo 1710022 (JP)
Données relatives à la priorité :
2007-008537 17.01.2007 JP
2007-137240 23.05.2007 JP
Titre (EN) DEVELOPING SOLUTION AND METHOD FOR PRODUCTION OF FINELY PATTERNED MATERIAL
(FR) SOLUTION DE DÉVELOPPEMENT ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN MATÉRIAU À MOTIFS FINS
(JA) 現像液、および微細加工体の製造方法
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed is a developing solution comprising an aqueous alkali solution, at least one anion selected from a silicate ion, a carbonate ion, a borate ion and a phosphate ion, and at least one cation selected from an ammonium ion, an organic ammonium ion and an alkali metal ion. The aqueous alkali solution may be an aqueous solution of a tetra-alkyl ammonium hydroxide.
(FR)La présente invention concerne une solution de développement comprenant une solution aqueuse alcaline, au moins un anion sélectionné dans le groupe comprenant un ion silicate, un ion carbonate, un ion borate et un ion phosphate, et au moins un cation sélectionné dans le groupe comprenant un ion ammonium, un ion ammonium organique et un ion métallique alcalin. La solution aqueuse alcaline peut être une solution aqueuse d'un hydroxyde d'ammonium tétra-alkyle.
(JA)現像液は、アルカリ性水溶液と、ケイ酸イオン、炭酸イオン、ホウ酸イオンおよびリン酸イオンの少なくとも1種のアニオンと、アンモニウムイオン、有機アンモニウムイオンおよびアルカリ金属イオンの少なくとも1種のカチオンとを含んでいる。アルカリ性水溶液は、水酸化テトラアルキルアンモニウム水溶液である。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)