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1. (WO2008088071) ELÉMENT EN CÉRAMIQUE ET ÉLÉMENT RÉSISTANT À LA CORROSION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2008/088071 N° de la demande internationale : PCT/JP2008/050838
Date de publication : 24.07.2008 Date de dépôt international : 16.01.2008
CIB :
C04B 35/50 (2006.01) ,H01L 21/3065 (2006.01)
Déposants : IDE, Takayuki[JP/JP]; JP (UsOnly)
ANDO, Masami[JP/JP]; JP (UsOnly)
TOTO LTD.[JP/JP]; 1-1, Nakashima 2-chome, Kokura-kita-ku, kitakyusyu-shi, Fukuoka 8028601, JP (AllExceptUS)
Inventeurs : IDE, Takayuki; JP
ANDO, Masami; JP
Données relatives à la priorité :
2007-00848117.01.2007JP
2007-33936428.12.2007JP
Titre (EN) CERAMIC MEMBER AND CORROSION-RESISTANT MEMBER
(FR) ELÉMENT EN CÉRAMIQUE ET ÉLÉMENT RÉSISTANT À LA CORROSION
(JA) セラミック部材および耐蝕性部材
Abrégé : front page image
(EN) Disclosed is a ceramic member having a high density, a small particle size and excellent plasma resistance. The ceramic member has a microstructure composed of fine particles. The ceramic member has an average particle size of less than 1.5 μm, an open porosity of less than 0.5% as measured by the Archimedian method, and a maximum particle size of less than 3 μm. In the ceramic member, it becomes possible to reduce the number of points at which plasma erosion is likely to begin by reducing the opening porosity thereof. Therefore, the ceramic material can exhibit excellent plasma resistance. In the ceramic member, abnormal growth of particles can be prevented. Therefore, the ceramic powder is composed of fine particles. Thus, the ceramic member is reduced in the particle contamination which may be caused by dusting, and is improved in plasma resistance and particle resistance.
(FR) L'invention concerne un élément en céramique ayant une grande densité, une petite taille de particules et une excellente résistance au plasma. L'élément en céramique a une microstructure composée de particules fines. L'élément en céramique a une taille moyenne de particules inférieure à 1,5 µm, une porosité ouverte inférieure à 0,5 % telle que mesurée par la méthode d'Archimède, et une taille de particules maximale inférieure à 3 µm. Dans l'élément en céramique, il est possible de réduire le nombre de points auxquels l'érosion par plasma est susceptible de commencer par réduction de sa porosité ouverte. Par conséquent, le matériau en céramique peut présenter une excellente résistance au plasma. Dans l'élément en céramique, la croissance anormale des particules peut être empêchée. Par conséquent, la poudre de céramique est composée de particules fines. Ainsi, l'élément en céramique présente une contamination particulaire, qui peut être entraînée par l'effusement, réduite, et présente une résistance au plasma et une résistance particulaire améliorées.
(JA) 高密度で粒子径の小さい耐プラズマ性に優れたセラミック部材を提供する。セラミック部材を微細な粒子からなる微構造で構成する。平均粒子径が1.5μm未満であり、かつアルキメデス法による測定で得られる開気孔率が0.5%未満で、最大粒子径が3μm未満で構成されたセラミック部材とすることで、開気孔を少なくすることで、プラズマ侵食の起点となる箇所を低減できることから耐プラズマ性に優れたセラミック部材を提供できる。そして、異常粒子成長を抑制させ小さい粒子で構成させることで発塵によるパーティクル汚染を低減させることが可能となり、耐プラズマ性と耐パーティクル特性を向上できる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)