WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2008087983) STRUCTURE DE TABLE ET APPAREIL DE TRAITEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/087983    N° de la demande internationale :    PCT/JP2008/050443
Date de publication : 24.07.2008 Date de dépôt international : 16.01.2008
CIB :
H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (Tous Sauf US).
KOMATSU, Tomohito [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
YAMAMOTO, Hirohiko [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
TORIYA, Daisuke [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : KOMATSU, Tomohito; (JP).
YAMAMOTO, Hirohiko; (JP).
TORIYA, Daisuke; (JP)
Mandataire : YOSHITAKE, Kenji; Kyowa Patent & Law Office Room 323, Fuji Bldg. 2-3, Marunouchi 3-chome Chiyoda-ku Tokyo 1000005 (JP)
Données relatives à la priorité :
2007-008105 17.01.2007 JP
2007-250195 26.09.2007 JP
Titre (EN) TABLE STRUCTURE, AND PROCESSING APPARATUS
(FR) STRUCTURE DE TABLE ET APPAREIL DE TRAITEMENT
(JA) 載置台構造及び処理装置
Abrégé : front page image
(EN)A power-receiving conductor portion (96) is buried in a table body (72) made of ceramics. In the surface of the table body (72), there is formed a connection hole (112) of a recessed shape, to which a connection terminal (110) electrically jointed to the power-receiving conductor portion and made of a high-melting-point metal, its alloy or its compound is exposed. A feeding connector portion (114), which is disposed at the leading end of a feeding line member, is inserted into the connection hole for feeding electricity to the power-receiving conductor portion. A stress relaxing member (116) is interposed between the connection terminal and the feeding connector portion. The stress relaxing member and the connecting terminal are jointed by a solder material (120). The stress relaxing member is made of a metal containing neither cobalt nor nickel, or an alloy of them. As a result, occurrence of thermal diffusion of the metal element at the joint portion between the connection terminal and the feeding connector portion can be prevented, thereby preventing deterioration in joint strength.
(FR)La présente invention concerne une portion de conducteur récepteur d'alimentation (96) enfouie dans un corps de table (72) en céramique. Dans la surface du corps de table (72), est formé en retrait un orifice de connexion (112), auquel un terminal de connexion (110) électriquement joint à la portion de conducteur à réception d'énergie et fait de métal à point de fusion élevé, son alliage ou son composé est exposé. Une portion de connecteur d'alimentation (114), qui est placée à l'extrémité avant d'une ligne d'alimentation, est insérée dans l'orifice de connexion pour distribuer l'électricité à la portion du conducteur récepteur d'alimentation. Un membre de relaxation de contrainte (116) est interposé entre le terminal de connexion et la portion du connecteur d'alimentation. Le membre de relaxation de contrainte et le terminal de connexion sont joints par un matériau de soudure (120). Le membre de relaxation de contrainte est constitué d'un métal qui contient soit du cobalt soit du nickel ou un alliage des deux. Il en résulte que l'occurrence d'une diffusion thermique de l'élément métallique au niveau de la portion du joint entre le terminal de connexion et la portion du connecteur d'alimentation peut être empêchée, ce qui empêche la détérioration de force du joint.
(JA) セラミック製の載置台本体(72)の内部に被給電導体部(96)が埋設されている。載置台本体(72)の表面に凹部の形態の接続穴(112)が形成され、この接続穴(112)の内部に被給電導体部に電気的に接合された高融点金属、その合金、又はその化合物よりなる接続端子(110)が露出している。給電用ライン部材の先端に設けられた給電用コネクタ部(114)が被給電導体部への給電を行うために接続穴内へ挿入される。応力緩和部材(116)が、接続端子と給電用コネクタ部との間に介設される。応力緩和部材と接続端子とがロウ材(120)により接合される。応力緩和部材はコバルト及びニッケルを含まない金属又はその合金よりなる。これにより、接続端子と給電用コネクタ部との接合部における金属元素の熱拡散の発生を防止し、接合強度の劣化を防止することができる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)