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1. (WO2008087902) APPAREIL ET PROCÉDÉ D'ÉLECTROLYSE POUR ACIDE SULFURIQUE ET APPAREIL DE TRAITEMENT D'UN SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/087902    N° de la demande internationale :    PCT/JP2008/050263
Date de publication : 24.07.2008 Date de dépôt international : 11.01.2008
CIB :
C25B 1/28 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01)
Déposants : SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION [JP/JP]; 5-1, Kasama 2-chome, Sakae-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2478610 (JP) (Tous Sauf US).
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA [JP/JP]; 1-1, Shibaura 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058001 (JP) (Tous Sauf US).
CHLORINE ENGINEERS CORP., LTD. [JP/JP]; 35F, St. Luke's Tower, 8-1, Akashi-cho, Chuo-ku, Tokyo 1040044 (JP) (Tous Sauf US).
KOBAYASHI, Nobuo [JP/JP]; (US Seulement).
SHIBATA, Yukihiro [JP/JP]; (US Seulement).
HAYAMIZU, Naoya [JP/JP]; (US Seulement).
KATO, Masaaki [JP/JP]; (US Seulement)
Inventeurs : KOBAYASHI, Nobuo; .
SHIBATA, Yukihiro; .
HAYAMIZU, Naoya; .
KATO, Masaaki;
Mandataire : SUZUYE, Takehiko; c/o SUZUYE & SUZUYE, 1-12-9, Toranomon, Minato-ku Tokyo 1050001 (JP)
Données relatives à la priorité :
2007-006017 15.01.2007 JP
Titre (EN) ELECTROLYSIS APPARATUS AND ELECTROLYSIS METHOD FOR SULFURIC ACID, AND APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ D'ÉLECTROLYSE POUR ACIDE SULFURIQUE ET APPAREIL DE TRAITEMENT D'UN SUBSTRAT
(JA) 硫酸の電解装置、電解方法及び基板の処理装置
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed is an electrolysis apparatus for sulfuric acid, which comprises an electrolysis vessel (1) wherein a cathode chamber (5) provided with a cathode (5a) and an anode chamber (6) provided with an anode (6a) are separated by a diaphragm (4), a sulfuric acid tank for storing sulfuric acid, a feed pipe (14) connecting the sulfuric acid tank with an inlet of the cathode chamber, a connection pipe (17) connecting an outlet of the cathode chamber and an inlet of the anode chamber, a first feed pump (13) arranged onto the feed pipe for supplying sulfuric acid from the sulfuric acid tank to the cathode chamber through the feed pipe, and a discharge pipe (18) connected to an outlet of the anode chamber for supplying a solution containing an oxidizing chemical species produced by electrolysis in the anode chamber to a liquid storage vessel.
(FR)L'invention concerne un appareil d'électrolyse pour acide sulfurique. L'appareil comporte un récipient d'électrolyse (1) dans lequel une chambre cathodique (5) dotée d'une cathode (5a) et une chambre anodique (6) dotée d'une anode (6a) sont séparées par un diaphragme (4) ; un réservoir d'acide sulfurique pour stocker de l'acide sulfurique ; un tuyau d'alimentation (14) connectant le réservoir d'acide sulfurique à une entrée de la chambre cathodique ; un tuyau de connexion (17) connectant une sortie de la chambre cathodique et une entrée de la chambre anodique ; une première pompe d'alimentation (13) disposée sur le tuyau d'alimentation pour faire passer de l'acide sulfurique du réservoir d'acide sulfurique à la chambre cathodique par l'intermédiaire du tuyau d'alimentation ; et un tuyau d'évacuation (18) raccordé à une sortie de la chambre anodique pour fournir une solution contenant une espèce chimique oxydante produite par électrolyse dans la chambre anodique passer à un récipient de stockage de liquide.
(JA) 隔膜(4)によって陰電極(5a)が設けられた陰極室(5)と陽電極(6a)が設けられた陽極室(6)とが隔別形成された電解槽(1)と、硫酸が貯えられる硫酸タンクと、硫酸タンクと陰極室の流入口を接続した給液管(14)と、陰極室の流出口と陽極室の流入口を接続した接続管(17)と、給液管に設けられ硫酸タンクの硫酸を陰極室に給液管を通じて供給する第1の供給ポンプ(13)と、陽極室の流出口に接続され電気分解によって陽極室で生成された酸化性の化学種を含む溶液を貯液槽に供給する排出管(18)とを具備する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)