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1. (WO2008087855) UNITÉ CONTIGUË DE SOLVANT LIQUIDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/087855    N° de la demande internationale :    PCT/JP2008/000017
Date de publication : 24.07.2008 Date de dépôt international : 11.01.2008
CIB :
H01L 21/683 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01)
Déposants : TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. [JP/JP]; 150, Nakamaruko, Nakahara-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2110012 (JP) (Tous Sauf US).
NAKAMURA, Akihiko [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MIYANARI, Atsushi [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
INAO, Yoshihiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
IWATA, Yasumasa [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : NAKAMURA, Akihiko; (JP).
MIYANARI, Atsushi; (JP).
INAO, Yoshihiro; (JP).
IWATA, Yasumasa; (JP)
Mandataire : OSUGA, Yoshiyuki; 3rd Fl., Nibancho Bldg. 8-20, Nibancho, Chiyoda-ku Tokyo 1020084 (JP)
Données relatives à la priorité :
2007-010335 19.01.2007 JP
Titre (EN) LIQUID SOLVENT ABUTTING UNIT
(FR) UNITÉ CONTIGUË DE SOLVANT LIQUIDE
(JA) 液状溶剤当接ユニット
Abrégé : front page image
(EN)A liquid solvent abutting unit capable of accelerating a reaction of adhesive member by liquid solvent between perforated support plate and wafer. The liquid solvent abutting unit (1) comprises supply part (103) for supplying a liquid solvent onto a surface of support plate; retention part (10) for retaining the supplied liquid solvent in hole formation regions of the support plate surface; recovery part (104) for recovery of the liquid solvent retained in the hole formation regions; and vibration part (13) for vibrating the liquid solvent.
(FR)L'invention concerne une unité contiguë de solvant liquide qui peut accélérer une réaction d'un élément adhésif par un solvant liquide entre une plaque de support perforée et une tranche. L'unité contiguë de solvant liquide (1) comprend une partie d'alimentation (103) pour alimenter un solvant liquide sur une surface de la plaque de support ; une partie de rétention (10) pour retenir le solvant liquide fourni dans des régions de formation de trou de la surface de plaque de support ; une partie de récupération (104) pour récupérer le solvant liquide retenu dans les régions de formation de trou ; et une partie de vibration (13) pour faire vibrer le solvant liquide.
(JA) 孔あきサポートプレートとウエハとの間の、液状溶剤による接着部材の反応を促す液状溶剤当接ユニットを提供することを目的とし、液状溶剤当接ユニット(1)において、サポートプレート面に液状溶剤を供給する供給部(103)と、前記供給された液状溶剤を前記サポートプレート面上の孔形成範囲に滞留させる滞留部(10)と、前記孔形成範囲に滞留させた液状溶剤を回収する回収部(104)と、前記液状溶剤を振動させる振動部(13)と、を備える。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)