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1. (WO2008087796) APPAREIL DE MAINTIEN ET PROCÉDÉ DE MAINTIEN
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2008/087796 N° de la demande internationale : PCT/JP2007/072662
Date de publication : 24.07.2008 Date de dépôt international : 22.11.2007
CIB :
B25J 15/06 (2006.01) ,B65G 49/07 (2006.01) ,H01L 21/677 (2006.01)
Déposants : TSUJIMOTO, Masaki[JP/JP]; JP (UsOnly)
LINTEC CORPORATION[JP/JP]; 23-23, Honcho, Itabashi-ku Tokyo 1730001, JP (AllExceptUS)
Inventeurs : TSUJIMOTO, Masaki; JP
Mandataire : YAMAGUCHI, Yoshio; 8th Floor, Izumi Building 4-17, Tsurumaki 1-chome Tama-shi, Tokyo 2060034, JP
Données relatives à la priorité :
2007-00571215.01.2007JP
Titre (EN) HOLDING APPARATUS AND HOLDING METHOD
(FR) APPAREIL DE MAINTIEN ET PROCÉDÉ DE MAINTIEN
(JA) 保持装置及び保持方法
Abrégé : front page image
(EN) This invention provides a holding apparatus comprising a support (13), which faces a large number of chips (W) supported by a protective sheet (S), and gas supply means (14) for supplying gas to the support (13). The support (13) comprises a plurality of jet holes (25) and a cylindrical part (23) for discharging gas ejected from the jet holes (25) upward. Even when the protective sheet (S) is in a warped or other unfavorable state, the heated gas ejected from the jet holes (25) acts on the protective sheet (S) so as to correct the state, whereby the chips (W) can be held in a non-contact state by Bernoulli effect.
(FR) Cette invention propose un appareil de maintien comprenant un support (13), qui est fait face à un nombre important de puces (W) supportées par une feuille protectrice (S), et des moyens d'alimentation en gaz (14) pour alimenter en gaz le support (13). Le support (13) comprend une pluralité d'orifices d'éjection (25) et une partie cylindrique (23) pour décharger le gaz éjecté à partir des orifices d'éjection (25) vers le haut. Même lorsque la feuille protectrice (S) est dans un état gauchi ou un autre état défavorable, le gaz chauffé éjecté à partir des orifices d'éjection (25) agit sur la feuille protectrice (S) de façon à corriger l'état, grâce à quoi les puces (W) peuvent être maintenues dans un état de non-contact par un effet de Bernoulli.
(JA)  保護シートSに支持された多数のチップWに相対する保持体13と、この保持体13に気体を供給する気体供給手段14とを備える。保持体13は、複数の噴出孔25を備えているとともに、当該噴出孔25から噴出する気体を上方に排気する筒部23を備えている。噴出孔25から噴出する加熱された気体は、保護シートSに反り等があってもこれを矯正するように作用し、ベルヌーイ効果によって前記チップWを非接触の状態で保持することができる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)