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1. (WO2008085510) DISPOSITIF DE MANIPULATION DE SUBSTRAT À GRANDE VITESSE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/085510    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/026488
Date de publication : 17.07.2008 Date de dépôt international : 31.12.2007
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : ACTIVE PRECISION, INC. [US/US]; 1 Garfield Circle, Burlington, MA 01803 (US) (Tous Sauf US).
HUNTER, Bradley [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : HUNTER, Bradley; (US)
Mandataire : COCKS, Elijah, E.; Muirhead & Saturnelli, LLC, 200 Friberg Parkway, Suite 1001, Westborough, MA 01581 (US)
Données relatives à la priorité :
11/650,298 05.01.2007 US
Titre (EN) HIGH-SPEED SUBSTRATE MANIPULATOR
(FR) DISPOSITIF DE MANIPULATION DE SUBSTRAT À GRANDE VITESSE
Abrégé : front page image
(EN)A mechanism for manipulation of a substrate over a substantially planar region has at least three, and up to six, degrees of freedom (DOF). The mechanism may be manufactured in various configurations, including triangular, and may use inherent symmetry to reduce the number of distinct components that must be manufactured. The mechanism may use parallelism to reduce the moving mass and thereby achieve higher levels of performance using less expensive motors while dissipating less power.
(FR)L'invention concerne un mécanisme permettant la manipulation d'un substrat sur une zone sensiblement plane comprenant de trois à six degrés de liberté (DOF). Le mécanisme peut être fabriqué dans diverses configurations, y compris en triangle, et peut utiliser une symétrie inhérente pour réduire le nombre de composants distincts à fabriquer. Le mécanisme peut utiliser un parallélisme pour réduire la masse mobile et atteindre ainsi des niveaux de performance plus élevés en utilisant moins de puissance qui requiert donc requérant des moteurs moins dispendieux.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)