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1. (WO2008085468) DISPOSITIF DE DISTRIBUTION POUR UNE DÉPOSITION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/085468    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/026314
Date de publication : 17.07.2008 Date de dépôt international : 26.12.2007
CIB :
C23C 16/455 (2006.01), C23C 16/54 (2006.01)
Déposants : EASTMAN KODAK COMPANY [US/US]; 343 State Street, Rochester, New York 14650-2201 (US) (Tous Sauf US).
LEVY, David, Howard [US/US]; (US) (US Seulement).
KERR, Roger, Stanley [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : LEVY, David, Howard; (US).
KERR, Roger, Stanley; (US)
Représentant
commun :
EASTMAN KODAK COMPANY; 343 State Street, Rochester, New York 14650-2201 (US)
Données relatives à la priorité :
11/620,738 08.01.2007 US
Titre (EN) DELIVERY DEVICE FOR DEPOSITION
(FR) DISPOSITIF DE DISTRIBUTION POUR UNE DÉPOSITION
Abrégé : front page image
(EN)A delivery device (150) for thin-film material deposition has at least first, second, and third inlet ports (14), (16), (18) for receiving a common supply for a first, a second and a third gaseous material, respectively. Each of the first, second, and third elongated emissive channels (132) allow gaseous fluid communication with one of corresponding first, second, and third inlet ports (14), (16), (18). The delivery device is formed from apertured plates (100), (110), (120), (130), superposed to define a network of interconnecting supply chambers and directing channels for routing each of the gaseous materials from its corresponding inlet port (14), (16), (18) to its corresponding plurality of elongated emissive channels (132).
(FR)L'invention concerne un dispositif de distribution (150) pour la déposition d'un matériau de film mince. Ce dispositif a au moins des premier, second et troisième orifices d'entrée (14), (16), (18) pour recevoir une alimentation commune pour respectivement une première, une seconde et une troisième matière gazeuse. Chacun des premier, second et troisième canaux d'émission allongés (132) permet une communication de fluide gazeux avec l'un des premier, second et troisième orifices d'entrée correspondants (14), (16), (18). Le dispositif de distribution est formé de plaques à ouvertures (100), (110), (120), (130), superposées pour définir un réseau de chambres d'alimentation interconnectées et de canaux de direction pour acheminer chacune des matières gazeuses de son orifice d'entrée correspondant (14), (16), (18) à sa pluralité correspondante de canaux d'émission allongés (132).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)