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1. (WO2008084246) DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT D'ÉCHANTILLON
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2008/084246 N° de la demande internationale : PCT/GB2008/000096
Date de publication : 17.07.2008 Date de dépôt international : 11.01.2008
CIB :
G02B 21/26 (2006.01) ,B23Q 1/56 (2006.01) ,B23Q 17/22 (2006.01)
Déposants : STIMPSON, Victor, Gordon[GB/GB]; GB (UsOnly)
SMITH, Brian, John Edward[GB/GB]; GB (UsOnly)
WOOLFREY, Andrew, Mark[GB/GB]; GB (UsOnly)
HILL, Michael, Jackson[GB/GB]; GB (UsOnly)
RENISHAW PLC[GB/GB]; New Mills Wotton-under-edge Gloucestershire GL12 8JR, GB (AllExceptUS)
Inventeurs : STIMPSON, Victor, Gordon; GB
SMITH, Brian, John Edward; GB
WOOLFREY, Andrew, Mark; GB
HILL, Michael, Jackson; GB
Mandataire : ROLFE, Edward, William ; RENISHAW PLC Patent Department New Mills Wotton-under-edge Gloucestershire GL12 8JR, GB
Données relatives à la priorité :
0700506.911.01.2007GB
0700507.711.01.2007GB
0700519.211.01.2007GB
Titre (EN) A SAMPLE POSITIONING APPARATUS
(FR) DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT D'ÉCHANTILLON
Abrégé : front page image
(EN) A sample positioning stage (4) for positioning a sample (8) to be inspected relative to an optical inspection device (2). The stage comprises a first generally planar body (18) on which a sample to be inspected can be carried and a second body (20) directly coupled to the first body (18) via at least one rigid bearing (43,45) and at least one resiliently compliant bearing (47) provided between the first and second bodies. The at least one rigid bearing and the at least one resiliently compliant bearing are arranged generally opposite each other. The first and second bodies are preloaded against each other in a dimension substantially parallel to the plane of the first generally planar body via the bearings. The stage further comprises a motorised drive system (98) operable to drive the first and second bodies relative to each other in the first plane toward a demanded relative position received from a position input device. The stage also comprises a position sensing device for providing a measure of the relative position of the first and second bodies.
(FR) Etage de positionnement d'échantillon (4) pour positionner un échantillon (8) devant être examiné par rapport à un dispositif d'inspection optique (2). L'étage comprend un premier corps généralement plan (18) sur lequel peut être porté un échantillon devant être examiné et un second corps (20) couplé directement au premier corps (18) via au moins un support rigide (43, 45) et au moins un support flexible de façon élastique (47) prévus entre les premier et second corps. L'au moins un support rigide et l'au moins un support flexible de façon élastique sont agencés généralement à l'opposé l'un de l'autre. Les premier et second corps sont préchargés l'un contre l'autre dans une dimension sensiblement parallèle au plan du premier corps généralement plan via les supports. L'étage comprend en outre un système d'entraînement motorisé (98) utilisable pour entraîner les premier et second corps l'un par rapport à l'autre dans le premier plan vers une position relative souhaitée reçue d'un dispositif d'entrée de position. L'étage comprend également un dispositif de détection de position destiné à fournir une mesure de la position relative des premier et second corps.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)