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1. (WO2008081873) MÉTHODE DE CONDENSATION DE RAYONS X ET SON DISPOSITIF UTILISANT UNE MÉTHODE DE RESTAURATION DE PHASE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/081873    N° de la demande internationale :    PCT/JP2007/075132
Date de publication : 10.07.2008 Date de dépôt international : 27.12.2007
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    19.09.2008    
CIB :
G21K 1/06 (2006.01), G01N 23/207 (2006.01), G01N 23/223 (2006.01), G02B 5/10 (2006.01), G21K 7/00 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
Déposants : JTEC Corporation [JP/JP]; 5-2, Minatojimaminamimachi 5-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6500047 (JP) (Tous Sauf US).
OSAKA UNIVERSITY [JP/JP]; 1-1, Yamadaoka, Suita-shi, Osaka 5650871 (JP) (Tous Sauf US).
YAMAUCHI, Kazuto [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
MIMURA, Hidekazu [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
OKADA, Hiromi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : YAMAUCHI, Kazuto; (JP).
MIMURA, Hidekazu; (JP).
OKADA, Hiromi; (JP)
Mandataire : YANAGINO, Takao; Noskmard building 15-5, Miyahara 1-chome Yodogawa-ku, Osaka-shi Osaka 5320003 (JP)
Données relatives à la priorité :
2006-357566 28.12.2006 JP
Titre (EN) X-RAY CONDENSING METHOD AND ITS DEVICE USING PHASE RESTORATION METHOD
(FR) MÉTHODE DE CONDENSATION DE RAYONS X ET SON DISPOSITIF UTILISANT UNE MÉTHODE DE RESTAURATION DE PHASE
(JA) 位相回復法を用いたX線集光方法及びその装置
Abrégé : front page image
(EN)[PROBLEMS TO BE SOLVED] By making use of a phase restoration method based on the wave optics theory and by using a intensity distribution of condensed light beams of hard X-rays used for an actual evaluation that are condensed by a mirror, a phase error distribution on the mirror, i.e., an X-ray wavefront measurement method to obtain shape errors is proposed and an X-ray condensing method and its device using a phase restoration method to optimize an X-ray condensing optical system by making use of such an X-ray wavefront measurement method are proposed. [MEANS FOR SOLVING THE PROBLEMS] An X-ray condensing method and its device are provided with an X-ray mirror that has a wavefront adjustable function to finely adjust a wavefront of a reflecting X-ray, measure an X-ray intensity distribution in the vicinity of a focus, measure an X-ray intensity distribution in the vicinity of the X-ray mirror or use a known X-ray intensity distribution of an incident X-ray, calculate a complex amplitude distribution at the reflective surface by using a phase restoration method from the X-ray intensity distribution in the vicinity of the focus and the X-ray intensity distribution in the vicinity of the reflective surface, calculate a wavefront aberration of an X-ray condensing optical system from the complex amplitude distribution, and control the reflective surface of the X-ray mirror with the wavefront adjustable function so that the wavefront aberration is minimized.
(FR)[PROBLÈME] En se servant d'une méthode de restauration de phase basée sur la théorie des ondes optiques et en utilisant une distribution d'intensité de rayons X durs utilisés pour une évaluation réelle, et condensés par un miroir, on se propose de trouver: une méthode de mesure de la distribution des erreurs de phase sur le miroir, c'est-à-dire, de mesure du front d'onde des rayons X pour obtenir les erreurs de forme; et une méthode de condensation des rayons X et le dispositif associé, utilisant une méthode de restauration de phase pour optimiser le système optique de condensation des rayons X à l'aide de ladite méthode de mesure du front d'onde des rayons X. [SOLUTION] méthode de condensation de rayons X et son dispositif associé au moyen d'un miroir de rayons X présentant une fonction de réglage fin du front d'onde des rayons X réfléchis; mesure de la distribution d'intensité des rayons X au voisinage d'un foyer; mesure de la distribution d'intensité des rayons X au voisinage du miroir de rayons X, ou utilisation de la distribution d'intensité connue d'un rayon X incident; calcul d'une distribution d'amplitude complexe sur la surface réfléchissante en utilisant une méthode de restauration de phase de la distribution d'intensité des rayons X au voisinage de la surface réfléchissante; calcul de l'aberration du front d'onde d'un système optique de condensation de rayons X à partir d'une distribution d'amplitude complexe; et contrôle de la surface réfléchissante du miroir de rayons X au moyen de la fonction réglable du front d'onde pour que l'aberration de front d'onde soit réduite au minimum.
(JA)【課題】 波動光学理論に基づく位相回復法を利用し、実際の評価で使用する硬X線を用いてミラーにより集光された集光ビームの強度分布を用いることで、ミラー上の位相誤差分布、即ち、形状誤差を求めるX線波面計測法を提案し、それを利用してX線集光光学系を最適に調節する位相回復法を用いたX線集光方法及びその装置を提案する。 【解決手段】 反射X線の波面を微調節可能な波面調節能を有するX線ミラーを備え、焦点近傍でのX線強度分布を測定し、X線ミラー近傍でのX線強度分布を測定し若しくは入射X線の既知のX線強度分布を用い、焦点近傍でのX線強度分布と反射面近傍でのX線強度分布から位相回復法を用いて反射面での複素振幅分布を算出し、この複素振幅分布からX線集光光学系の波面収差を算出し、この算出した波面収差を最小にするように波面調節能にてX線ミラーの反射面を制御する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)