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1. (WO2008080534) OBJECTIF DE PROJECTION CATADIOPTRIQUE AVEC MIROIRS DÉFLECTEURS INCLINÉS, APPAREIL D'EXPOSITION À PROJECTION, PROCÉDÉ D'EXPOSITION À PROJECTION, ET MIROIR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/080534    N° de la demande internationale :    PCT/EP2007/010941
Date de publication : 10.07.2008 Date de dépôt international : 13.12.2007
CIB :
G02B 17/08 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : CARL ZEISS SMT AG [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2, 73447 Oberkochen (DE) (Tous Sauf US).
MÜLLER, Ralf [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
GÖHNERMEIER, Aksel [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
SINGER, Wolfgang [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : MÜLLER, Ralf; (DE).
GÖHNERMEIER, Aksel; (DE).
SINGER, Wolfgang; (DE)
Mandataire : RUFF, WILHELM, BEIER, DAUSTER & PARTNER; Kronenstrasse 30, 70174 Stuttgart (DE)
Données relatives à la priorité :
60/877,366 28.12.2006 US
Titre (EN) CATADIOPTRIC PROJECTION OBJECTIVE WITH TILTED DEFLECTING MIRRORS, PROJECTION EXPOSURE APPARATUS, PROJECTION EXPOSURE METHOD, AND MIRROR
(FR) OBJECTIF DE PROJECTION CATADIOPTRIQUE AVEC MIROIRS DÉFLECTEURS INCLINÉS, APPAREIL D'EXPOSITION À PROJECTION, PROCÉDÉ D'EXPOSITION À PROJECTION, ET MIROIR
Abrégé : front page image
(EN)A catadioptric projection objective has a plurality of optical elements arranged along an optical axis to image a pattern arranged in an object surface of the projection objective onto an image surface of the projection objective. The optical elements include a concave mirror; a first deflecting mirror tilted relative to the optical axis by a first tilt angle ti about a first tilt axis to deflect light from the object surface towards the concave mirror or to deflect light from the concave mirror towards the image surface; and a second deflecting mirror tilted relative to the optical axis by a second tilt angle t.2 about a second tilt axis. The first deflecting mirror has a first reflective coating with reflectivity Rs1(α1) for s-polarized light and a reflectivity Rp1(α1) for p-polarized light incident on the first deflecting miror at first angles of incidence αi from a first range of angles of incidence according to (t1-Δα1) ≤ α1 < (t1+Δα-1). The second deflecting mirror has a second reflective coating with a reflectivity Rs2(α2) for s-polarized light and a reflectivity Rp22) for p-polarized light incident on the second deflecting mirror at second angles of incidence 02 from a second range of angles of incidence according to (t2-Δα2) ≤ α2 ≤ (t2+Δα2). A first reflectivity sum, RSPE, for s-polarized light of polar edge rays accumulated upon reflection on the first and second deflecting mirrors is substantially equal to a second reflectivity sum, RPE for p-polarized light of equatorial edge rays accumulated upon reflection on the first and second deflecting mirrors.
(FR)L'objectif de projection catadioptrique selon l'invention comporte une pluralité d'éléments optiques disposés le long d'un axe optique pour former une image d'un motif disposé dans une surface d'objet de l'objectif de projection sur une surface d'image de l'objectif de projection. Les éléments optiques incluent un miroir concave; un premier miroir déflecteur incliné par rapport à l'axe optique d'un premier angle d'inclinaison t1 près d'un premier axe d'inclinaison pour dévier la lumière provenant de la surface d'objet en direction du miroir concave ou pour dévier la lumière provenant du miroir concave en direction de la surface d'image; et un second miroir déflecteur incliné par rapport à l'axe optique d'un second angle d'inclinaison t2 près d'un second axe d'inclinaison. Le premier miroir déflecteur possède un premier revêtement réflecteur d'une réflectivité de Rs1(α1) pour la lumière polarisée s et d'une réflectivité de Rp1(α1) pour la lumière polarisée p incident sur le premier miroir déflecteur à des premiers angles d'incidence α1 d'une première plage d'angles d'incidence selon l'inégalité (t1-Δα1) ≤ α1 < (t1+Δα-1). Le second miroir déflecteur possède un second revêtement réflecteur d'une réflectivité de Rs2(α2)pour la lumière polarisée s et d'une réflectivité de Rp22) pour la lumière polarisée p incident sur le second miroir déflecteur à des seconds angles d'incidence α2 d'une seconde plage d'angles d'incidence selon l'inégalité (t2-Δα2) ≤ α2 ≤ (t2+Δα2). Une première somme de réflectivités, RSPE, pour la lumière polarisée s de rayons marginaux polaires accumulés au moment de la réflexion sur les premier et second miroir déflecteurs est pratiquement égale à une seconde somme de réflectivités, RPE, pour la lumière polarisée p de rayons marginaux équatoriaux accumulés au moment de la réflexion sur les premier et second miroirs déflecteurs.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)