WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2008079307) SYSTÈME ET PROCÉDÉ D'ANALYSE DE CARTE SONDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/079307    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/026099
Date de publication : 03.07.2008 Date de dépôt international : 19.12.2007
CIB :
G01R 1/073 (2006.01), G01R 31/28 (2006.01)
Déposants : RUDOLPH TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; One Rudolph Road, P.O. Box 1000, Flanders, New Jersey 07836 (US) (Tous Sauf US).
ENDRES, Eric [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : ENDRES, Eric; (US)
Mandataire : CZAJA, Timothy, A.; Dicke, Billig & Czaja, PLLC, 100 South Fifth Street, Suite 2250, Minneapolis, MN 55402 (US)
Données relatives à la priorité :
60/870,832 19.12.2006 US
60/871,449 21.12.2006 US
Titre (EN) PROBE CARD ANALYSIS SYSTEM AND METHOD
(FR) SYSTÈME ET PROCÉDÉ D'ANALYSE DE CARTE SONDE
Abrégé : front page image
(EN)A system and method for evaluating wafer test probe cards (50) under real-world wafer test cell conditions integrates certain wafer test cell components into the probe card inspection and analysis process. Disclosed embodiments may utilize existing and/or modified wafer test cell components such as, a head plate (360), a test head (330), a signal delivery system (340), and a manipulator to emulate wafer test cell dynamics during the probe card inspection and analysis process.
(FR)La présente invention concerne un système et un procédé permettant d'évaluer des cartes sondes de test de plaquette (50) dans des conditions réelles de cellule de test de plaquette, lequel système intègre certains composants de cellule de test de plaquette au processus d'inspection et d'analyse de carte sonde. Des modes de réalisation peuvent mettre en oeuvre des composants de cellule de test de plaquette existants et/ou modifiés tels qu'une plaque de tête (360), une tête de test (330), un système de distribution de signal (340) et un manipulateur pour émuler une dynamique de cellule de test de plaquette au cours du processus d'inspection et d'analyse de carte sonde.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)