WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2008078939) STATION DE SONDAGE, ET PROCÉDÉ D'ESSAI DE TRANCHE L'UTILISANT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/078939    N° de la demande internationale :    PCT/KR2007/006777
Date de publication : 03.07.2008 Date de dépôt international : 24.12.2007
CIB :
H01L 21/66 (2006.01)
Déposants : SECRON Co., Ltd. [KR/KR]; 4-4, Chaam-dong, Cheonan-si, Chungcheongnam-do, 330-200 (KR) (Tous Sauf US).
CHOI, Su Hyun [KR/KR]; (KR) (US Seulement).
KIM, Meang Kwon [KR/KR]; (KR) (US Seulement).
JIN, Jeon Ho [KR/KR]; (KR) (US Seulement).
CHOI, Ki Uk [KR/KR]; (KR) (US Seulement)
Inventeurs : CHOI, Su Hyun; (KR).
KIM, Meang Kwon; (KR).
JIN, Jeon Ho; (KR).
CHOI, Ki Uk; (KR)
Mandataire : SHIN, Dongjoon; No. 402, Seocho First Bldg., 1624-2, Seocho-dong, Seocho-gu, Seoul, 137-878 (KR)
Données relatives à la priorité :
10-2006-0134678 27.12.2006 KR
10-2006-0137790 29.12.2006 KR
Titre (EN) PROBE STATION, AND TESTING METHOD OF WAFER USING THE SAME
(FR) STATION DE SONDAGE, ET PROCÉDÉ D'ESSAI DE TRANCHE L'UTILISANT
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed herein is probe station that is used to test semiconductor devices formed on a wafer. The equipment includes a chuck, a probe card holder, a holder fixing unit, a transfer unit, and a holder movement unit. The chuck supports the wafer. The probe card holder is configured such that a probe card, which is provided with a plurality of probes, is seated therein. The holder fixing unit fastens the probe card holder. The transfer unit enables seating of the probe card in the probe card holder by laterally moving the probe card holder from the probe station to the outside, and laterally moving the probe card holder is seated, into the probe station. The holder movement unit causes the probe card holder to be fastened to the holder fixing unit by changing the location of probe card holder while supporting the holder fixing unit.
(FR)Station de sondage pour l'essai de dispositifs à semi-conducteur établis sur une tranche. L'équipement comprend un mandrin, un support de carte sonde, une unité de fixation de support, une unité de transfert et une unité de déplacement de support. Le mandrin soutient la tranche. Le support de carte sonde est capable d'accueillir une carte sonde équipée de plusieurs sondes. L'unité de fixation de support tient le support de carte sonde. L'unité de transfert active l'accueil de la carte sonde dans le support de carte sonde par déplacement latéral de ce support depuis la station de sondage vers l'extérieur, et depuis l'extérieur vers la station de sondage. L'unité de déplacement de support permet de fixer le support de carte sonde sur l'unité de fixation de support par modification de l'emplacement du support de carte sonde tout en soutenant l'unité de fixation de support.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : coréen (KO)