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1. (WO2008078690) SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT, APPAREIL DE COMMANDE, PROCÉDÉ DE SURVEILLANCE D'INFORMATIONS DE RÉGLAGE ET SUPPORT DE STOCKAGE AYANT UN PROGRAMME DE SURVEILLANCE D'INFORMATIONS DE RÉGLAGE STOCKÉ DESSUS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/078690    N° de la demande internationale :    PCT/JP2007/074687
Date de publication : 03.07.2008 Date de dépôt international : 21.12.2007
CIB :
G05B 9/02 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (Tous Sauf US).
YAMAGAMI, Munetaka [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : YAMAGAMI, Munetaka; (JP)
Mandataire : KAMEYA, Yoshiaki; HAZUKI INTERNATIONAL YOTSUYA Daiichi Tomizawa Building 3-1-3, Yotsuya Shinjuku-ku, Tokyo 160-0004 (JP)
Données relatives à la priorité :
2006-346235 22.12.2006 JP
Titre (EN) SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, CONTROL APPARATUS, SETTING INFORMATION MONITORING METHOD AND STORAGE MEDIUM HAVING SETTING INFORMATION MONITORING PROGRAM STORED THEREIN
(FR) SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT, APPAREIL DE COMMANDE, PROCÉDÉ DE SURVEILLANCE D'INFORMATIONS DE RÉGLAGE ET SUPPORT DE STOCKAGE AYANT UN PROGRAMME DE SURVEILLANCE D'INFORMATIONS DE RÉGLAGE STOCKÉ DESSUS
(JA) 基板処理システム、制御装置、設定情報監視方法および設定情報監視プログラムを記憶した記憶媒体
Abrégé : front page image
(EN)A PC (100) is provided with an interlock condition table (1015) received from a PLC (300) before a system is started, and the PC collates an interlock condition table (1020b), which is received from the PLC (300) after the system is started, with the interlock condition table (1015), and issues a warning when the tables do not collate with each other.
(FR)Un PC (100) est muni d'une table de conditions de verrouillage (1015) reçue de la part d'un PLC (300) avant qu'un système ne soit démarré, et le PC fusionne une table de conditions de verrouillage (1020b), qui est reçue de la part du PLC (300) après que le système ait été démarré, avec la table de conditions de verrouillage (1015), et transmet une alerte lorsque les tables ne fusionnent pas.
(JA)PC(100)はシステムの起動前にPLC(300)から受信していたインターロック条件テーブル(1015)を有しており、システムの起動後にPLC(300)から受信したインターロック条件テーブル(1020b)を、上記インターロック条件テーブル(1015)と照合し、両者テーブルが一致しない場合には警告を発する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)