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1. (WO2008078185) COMPOSITIONS DE REVÊTEMENT ANTI-RÉFLÉCHISSANT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/078185    N° de la demande internationale :    PCT/IB2007/004198
Date de publication : 03.07.2008 Date de dépôt international : 19.12.2007
CIB :
C08L 101/00 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01)
Déposants : AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. [US/US]; 70 Meister Avenue, Somerville, NJ 08876 (US)
Inventeurs : ABDALLAH, David; (US).
HOULIHAN, Francis; (US).
NEISSER, Mark; (US)
Données relatives à la priorité :
11/613,410 20.12.2006 US
Titre (EN) ANTIREFLECTIVE COATING COMPOSITIONS
(FR) COMPOSITIONS DE REVÊTEMENT ANTI-RÉFLÉCHISSANT
Abrégé : front page image
(EN)The present invention discloses novel bottom anti-reflective coating compositions where a coating from the composition has an etch rate that can be regulated by the etch plate temperature.
(FR)Cette invention concerne des compositions de revêtement anti-réfléchissant de fond dans lesquelles la vitesse de gravure du revêtement peut être régulée par la température de la plaque de gravure.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)