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1. (WO2008063176) COMMUTATEUR ÉLECTROMÉCANIQUE DE NANOMÈTRE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2008/063176 N° de la demande internationale : PCT/US2006/045243
Date de publication : 29.05.2008 Date de dépôt international : 22.11.2006
CIB :
G02B 6/26 (2006.01)
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
6
Guides de lumière; Détails de structure de dispositions comprenant des guides de lumière et d'autres éléments optiques, p.ex. des moyens de couplage
24
Couplage de guides de lumière
26
Moyens de couplage optique
Déposants :
UNIVERSITY OF SOUTH FLORIDA [US/US]; 3802 Spectrum Blvd., Suite 100 Tampa, FL 33612, US (AllExceptUS)
WELLER, Thomas [US/US]; US (UsOnly)
KETTERL, Thomas [DE/US]; US (UsOnly)
Inventeurs :
WELLER, Thomas; US
KETTERL, Thomas; US
Mandataire :
SAUTER, Molly, L.; Smith & Hopen, P.A. 180 Pine Avenue North Oldsmar, FL 34677, US
Données relatives à la priorité :
11/561,95221.11.2006US
60/738,80022.11.2005US
Titre (EN) A NANOMETER ELECTROMECHANICAL SWITCH AND FABRICATION PROCESS
(FR) COMMUTATEUR ÉLECTROMÉCANIQUE DE NANOMÈTRE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION
Abrégé :
(EN) The present invention describes nano-scale fabrication technique used to create a sub- micron wide gap across the center conductor of a coplanar waveguide transmission line configured in a fixed-fixed beam arrangement, resulting in a pair of opposing cantilever beams that comprise an electro-mechanical switch. Accordingly, a nanometer-scale mechanical switch with very high switching speed and low actuation voltage has been developed. This switch is intended primarily for application in the RF/microwave/wireless industry.
(FR) La présente invention décrit une technique de fabrication à l'échelle nanométrique utilisée pour créer un espace de largeur sub-micronique à travers le conducteur central d'une ligne de transmission de guide d'ondes coplanaire, configuré dans un agencement de faisceau fixe-fixe, conduisant à une paire de faisceaux en porte-à-faux opposés qui comprennent un commutateur électromécanique. Par conséquent, un commutateur mécanique à l'échelle nanométrique avec une fréquence de commutation très élevée et une tension d'actionnement faible a été développé. Ce commutateur est destiné principalement à une application dans l'industrie Rf/micro-onde/sans fil.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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Langue de publication : Anglais (EN)
Langue de dépôt : Anglais (EN)