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1. (WO2008061186) SYSTÈME MÉTROLOGIQUES A INTERFÉROMÈTRE ET CODEUR POUR LA MESURE DE DISTANCES UTILISES DANS DES OUTILS LITHOGRAPHIQUES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2008/061186 N° de la demande internationale : PCT/US2007/084819
Date de publication : 22.05.2008 Date de dépôt international : 15.11.2007
CIB :
G01B 11/02 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11
Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
02
pour mesurer la longueur, la largeur ou l'épaisseur
Déposants :
ZYGO CORPORATION [US/US]; 21 Laurel Brook Road Middlefield, Connecticut 06455-0448, US (AllExceptUS)
HILL, Henry A. [US/US]; US (UsOnly)
Inventeurs :
HILL, Henry A.; US
Mandataire :
BOWLEY, Christopher; Fish & Richardson P.C. P.O. Box 1022 Minneapolis, MN 55440-1022, US
Données relatives à la priorité :
60/859,34815.11.2006US
60/859,69317.11.2006US
Titre (EN) DISTANCE MEASURING INTERFEROMETER AND ENCODER METROLOGY SYSTEMS FOR USE IN LITHOGRAPHY TOOLS
(FR) SYSTÈME MÉTROLOGIQUES A INTERFÉROMÈTRE ET CODEUR POUR LA MESURE DE DISTANCES UTILISES DANS DES OUTILS LITHOGRAPHIQUES
Abrégé :
(EN) In general, in one aspect, the invention features a system that includes a moveable stage, an interferometer configured to provide information about a first degree of freedom of the stage, an encoder configured to provide information about a second degree of freedom of the stage, and an electronic processor configured to monitor the position of the stage based on the information about the first and second degrees of freedom.
(FR) De manière générale, et selon un aspect, la présente invention concerne un système qui comprend une estrade mobile, un interféromètre configuré pour fournir des informations sur un premier degré de liberté de l'estrade, un codeur configuré pour fournir des informations sur un second degré de liberté de l'estrade, et un processeur électronique configuré pour contrôler la position de l'estrade en fonction des informations sur les premier et second degrés de liberté.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)
Also published as:
EP2095065JP2010510672