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1. (WO2008055060) INTERFÉROMÉTRIE RÉSISTANT À LA VIBRATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2008/055060 N° de la demande internationale : PCT/US2007/082646
Date de publication : 08.05.2008 Date de dépôt international : 26.10.2007
CIB :
G01B 11/02 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11
Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
02
pour mesurer la longueur, la largeur ou l'épaisseur
Déposants :
ZYGO CORPORATION [US/US]; 21 Laurel Brook Road Middlefield, CT 06455-0448, US (AllExceptUS)
DECK, Leslie, L. [US/US]; US (UsOnly)
Inventeurs :
DECK, Leslie, L.; US
Mandataire :
BOWLEY, Christopher; Fish & Richardson P.C. P.O. Box 1022 Minneapolis, MN 55440-1022, US
Données relatives à la priorité :
60/854,91727.10.2006US
Titre (EN) VIBRATION RESISTANT INTERFEROMETRY
(FR) INTERFÉROMÉTRIE RÉSISTANT À LA VIBRATION
Abrégé :
(EN) In general, in one aspect, the invention features a method including providing scanning intcrferomctry data for a test object using phase shifting intcrfcrometry, the data including intensity values for each of multiple scan positions for different spatial locations of the test object, the intensity values for each spatial location defining an interference signal for the spatial location, the intensity values for a common scan position defining a data set for that scan position. The method also includes temporally transforming at least some of the interference signals into a first frequency domain signal, determining an estimated phase profile of the test object based on the first frequency domain signal, determining phase shifts at multiple scan positions based on the estimated phase profile, and determining a more accurate phase profile of the test object based on the estimated phase profile and the phase shifts.
(FR) De manière générale, un aspect de l'invention concerne un procédé consistant à fournir des données d'interférométrie de balayage pour un objet de test utilisant une interférométrie à décalage de phase, les données comprenant des valeurs d'intensité pour chacune des positions de balayage multiples pour différentes positions spatiales de l'objet de test, les valeurs d'intensité pour chaque position spatiale définissant un signal d'interférence pour la position spatiale, les valeurs d'intensité pour une position de balayage commune définissant un ensemble de données pour cette position de balayage. Le procédé consiste en outre à transformer temporairement au moins une partie des signaux d'interférence en un premier signal de domaine de fréquence, déterminer un profil de phase estimée de l'objet de test sur la base du premier signal de domaine de fréquence, déterminer les décalages de phase à plusieurs positions de balayage sur la base du profil de phase estimé et déterminer un profil de phase plus précis de l'objet de test sur la base du profil de phase estimée et des décalages de phase.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : Anglais (EN)
Langue de dépôt : Anglais (EN)