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1. (WO2008052648) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION DE PROPRIÉTÉS ÉLECTRIQUES D'UN ÉCHANTILLON EN MATÉRIAU EXCITABLE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2008/052648 N° de la demande internationale : PCT/EP2007/008907
Date de publication : 08.05.2008 Date de dépôt international : 13.10.2007
CIB :
G01R 31/26 (2006.01) ,G01R 31/265 (2006.01) ,G01N 22/00 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
R
MESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
31
Dispositions pour vérifier les propriétés électriques; Dispositions pour la localisation des pannes électriques; Dispositions pour l'essai électrique caractérisées par ce qui est testé, non prévues ailleurs
26
Essai de dispositifs individuels à semi-conducteurs
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
R
MESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
31
Dispositions pour vérifier les propriétés électriques; Dispositions pour la localisation des pannes électriques; Dispositions pour l'essai électrique caractérisées par ce qui est testé, non prévues ailleurs
26
Essai de dispositifs individuels à semi-conducteurs
265
Essais sans contact
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
22
Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de micro-ondes
Déposants :
DEUTSCHE SOLAR AG [DE/DE]; Berthelsdorfer Strasse 111 A 09599 Freiberg, DE (AllExceptUS)
NIKLAS, Jürgen [DE/DE]; DE (UsOnly)
DORNICH, Kay [DE/DE]; DE (UsOnly)
ERFURT, Gunter [DE/DE]; DE (UsOnly)
Inventeurs :
NIKLAS, Jürgen; DE
DORNICH, Kay; DE
ERFURT, Gunter; DE
Mandataire :
RAU, Albrecht ; Königstrasse 2 90402 Nürnberg, DE
Données relatives à la priorité :
10 2006 051 577.303.11.2006DE
Titre (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ERFASSUNG ELEKTRISCHER EIGENSCHAFTEN EINER PROBE AUS EINEM ANREGBAREN MATERIAL
(EN) DEVICE AND METHOD FOR DETECTING ELECTRICAL PROPERTIES OF A SAMPLE COMPOSED OF AN EXCITABLE MATERIAL
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION DE PROPRIÉTÉS ÉLECTRIQUES D'UN ÉCHANTILLON EN MATÉRIAU EXCITABLE
Abrégé :
(DE) Eine Vorrichtung zur Erfassung elektrischer Eigenschaften einer Probe aus einem anregbaren Material, insbesondere eines Silizium-Wafers, umfasst eine Mikrowellen-Quelle (6) zur Erzeugung eines Mikrowellen-Feldes, ein an die Mikrowellen-Quelle (6) in Mikrowellen übertragender Weise gekoppeltes Resonanz-System (2), welches einen mindestens eine Öffnung (26) aufweisenden Mikrowellen-Resonator und eine benachbart zu der mindestens einen Öffnung angeordnete, zu untersuchende Probe, aufweist, mindestens eine in der Umgebung der Probe angeordnete Anregungs-Quelle (3) zur gesteuerten elektrischen Anregung der Probe und eine Mess-Einrichtung (5) zur Messung mindestens eines physikalischen Parameters des Resonanz-Systems (2).
(EN) A device for detecting electrical properties of a sample composed of an excitable material, in particular of a silicon wafer, comprises a microwave source (6) for generating a microwave field, a resonance system (2), which is coupled to the microwave source (6) in a microwave-transmitting manner and which has a microwave resonator having at least one opening (26) and a sample to be examined and arranged adjacent to the at least one opening, at least one excitation source (3) arranged in the vicinity of the sample and serving for the controlled electrical excitation of the sample, and a measuring device (5) for measuring at least one physical parameter of the resonance system (2).
(FR) L'invention concerne un dispositif de détermination de propriétés électriques d'un échantillon en matériau excitable et en particulier d'une galette de silicium. Le dispositif comprend une source (6) de micro-ondes qui forme un champ de micro-ondes, un système résonant (2) couplé à la source (6) de micro-ondes de manière à transmettre les micro-ondes et qui présente un résonateur de micro-ondes doté d'au moins une ouverture (26) et un échantillon à étudier disposé au voisinage de la ou des ouvertures, au moins une source d'excitation (3) disposée au voisinage de l'échantillon et qui excite électriquement de manière contrôlée l'échantillon et un dispositif de mesure (5) qui mesure au moins un paramètre physique du système résonant (2).
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : Allemand (DE)
Langue de dépôt : Allemand (DE)
Également publié sous:
KR1020090092791EP2097761JP2010508526US20100141271