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1. (WO2008051603) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE BLINDAGE D'ISOLATEURS RIGIDES À TIGE DE TRAVERSÉE D'UNE JAUGE D'IONISATION FONCTIONNANT DANS DES ENVIRONNEMENTS DIFFICILES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/2008/051603 N° de la demande internationale : PCT/US2007/022663
Date de publication : 02.05.2008 Date de dépôt international : 26.10.2007
CIB :
H01J 41/14 (2006.01) ,H01J 5/46 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
41
Tubes à décharge et moyens structurellement associés pour la mesure de la pression de gaz; Tubes à décharge pour l'évacuation par diffusion d'ions
12
Tubes à décharge pour l'évacuation par diffusion d'ions, p.ex. pompes ioniques, pompes ioniques à getter
14
avec ionisation au moyen de cathodes thermo-ioniques
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
5
Détails des enceintes ou des conducteurs de traversée, communs à au moins deux types de base de tubes ou lampes à décharge
46
Conducteurs de traversée
Déposants :
BROOKS AUTOMATION INC. [US/US]; 15 Elizabeth Drive Chelmsford, MA 01824, US (AllExceptUS)
KNOTT, Richard [US/US]; US (UsOnly)
Inventeurs :
KNOTT, Richard; US
Mandataire :
SMITH, James, M. ; Hamilton, Brook, Smith & Reynolds, P.C. 530 Virginia Road, P.O.Box 9133 Concord, MA 01742-9133, US
Données relatives à la priorité :
11/588,10926.10.2006US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR SHIELDING FEEDTHROUGH PIN INSULATORS IN AN IONIZATION GAUGE OPERATING IN HARSH ENVIRONMENTS
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE BLINDAGE D'ISOLATEURS RIGIDES À TIGE DE TRAVERSÉE D'UNE JAUGE D'IONISATION FONCTIONNANT DANS DES ENVIRONNEMENTS DIFFICILES
Abrégé :
(EN) Shields for feedthrough pin insulators of a hot cathode ionization gauge are provided to increase the operational lifetime of the ionization gauge in harmful process environments. Various shield materials, designs, and configurations may be employed depending on the gauge design and other factors. In one embodiment, the shields may include apertures through which to insert feedthrough pins and spacers to provide an optimal distance between the shields and the feedthrough pin insulators before the shields are attached to the gauge. The shields may further include tabs used to attach the shields to components of the gauge, such as the gauge's feedthrough pins. Through use of example embodiments of the insulator shields, the life of the ionization gauge is extended by preventing gaseous products from a process in a vacuum chamber or material sputtered from the ionization gauge from depositing on the feedthrough pin insulators and causing electrical leakage from the gauge's electrodes.
(FR) L'invention concerne des blindages destinés à des isolateurs rigides à tige de traversée d'une jauge d'ionisation à cathode chaude. Ces blindages visent à augmenter la durée de fonctionnement de la jauge d'ionisation dans des environnements de traitement dangereux. Des matières de blindage, des conceptions et des configurations variées peuvent être utilisées en fonction de la conception de la jauge et d'autres facteurs. Dans un mode de réalisation de l'invention, les blindages peuvent comprendre des ouvertures par lesquelles sont insérées des tiges de traversée et des espaceurs, de sorte à obtenir une distance optimale entre les blindages et les isolateurs rigides à tige de traversée, avant que les blindages ne soient fixés à la jauge. Ces blindages peuvent également comprendre des languettes servant à fixer les blindages sur des composants de la jauge, notamment les tiges de traversée de la jauge. Grâce à l'utilisation de modes de réalisation d'exemple de blindage d'isolateur de l'invention, la durée de vie de la jauge d'ionisation est prolongée, car l'invention empêche que des produits gazeux provenant d'un traitement effectué dans une chambre sous vide ou qu'une matière pulvérisée à partir de la jauge d'ionisation ne se dépose sur les isolateurs rigides à tige de traversée et ne provoque des fuites électriques à partir des électrodes de la jauge.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : Anglais (EN)
Langue de dépôt : Anglais (EN)