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1. (WO2008049133) PROCÉDÉ DE CRÉATION D'ÉCHANTILLONT S/MET ET STRUCTURE D'ÉCHANTILLON
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2008/049133    N° de la demande internationale :    PCT/US2007/082163
Date de publication : 24.04.2008 Date de dépôt international : 22.10.2007
CIB :
G01R 31/305 (2006.01)
Déposants : FEI COMPANY [US/US]; 5350 NE Dawson Creek Drive, Hillsboro, OR 97124-5793 (US) (Tous Sauf US).
BLACKWOOD, Jeff [US/US]; (US) (US Seulement).
STONE, Stacey [US/US]; (US) (US Seulement).
ARJAVAC, Jason [US/US]; (US) (US Seulement)
Inventeurs : BLACKWOOD, Jeff; (US).
STONE, Stacey; (US).
ARJAVAC, Jason; (US)
Mandataire : GRINER, David; P.O. Box 164140, Austin, TX 78716-4140 (US)
Données relatives à la priorité :
60/853,183 20.10.2006 US
Titre (EN) METHOD FOR CREATING S/TEM SAMPLE AND SAMPLE STRUCTURE
(FR) PROCÉDÉ DE CRÉATION D'ÉCHANTILLONT S/MET ET STRUCTURE D'ÉCHANTILLON
Abrégé : front page image
(EN)An improved method and apparatus for S/TEM sample preparation and analysis. Preferred embodiments of the present invention provide improved methods for TEM sample creation, especially for small geometry (<100 nm thick) TEM lamellae. A novel sample structure and a novel use of a milling pattern allow the creation of S/TEM samples as thin as 50 nm without significant bowing or warping. Preferred embodiments of the present invention provide methods to partially or fully automate TEM sample creation, to make the process of creating and analyzing TEM samples less labor intensive, and to increase throughput and reproducibility of TEM analysis.
(FR)L'invention concerne un procédé et un appareil de préparation et d'analyse d'échantillon S/MET. Des modes de réalisation de l'invention concernent des procédés de création d'échantillon MET, en particulier pour des lamelles MET de géométrie réduite (<100 nm d'épaisseur). Une nouvelle structure d'échantillon et une nouvelle utilisation d'un gabarit de fraisage permettent de créer des échantillons S/MET d'une épaisseur de 50 nm sans flexion ou gauchissement. Des modes de réalisation préférés de l'invention concernent des procédés permettant d'automatiser partiellement ou entièrement la création d'échantillon MET, de faciliter le processus de création et d'analyse des échantillons MET et d'améliorer le rendement et la reproductibilité de l'analyse MET.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)